Neue Investitionen in die Halbleiterforschung - Fraunhofer IISB und Universität Erlangen-Nürnberg erweitern Großgeräteausstattung im Reinraumlabor
Am Fraunhofer IISB in Erlangen wird gerade eine neue Anlage zur Ionenimplantation in Betrieb genommen. Das knapp 15 Tonn…