Mikro-elektromechanische Systeme, kurz MEMS, erobern immer mehr Anwendungen: Als Dreh-, Druck- oder Vibrationssensoren stecken sie in Automobilen, sie schalten mit winzigen Spiegeln Licht in Telekommunikationsnetzen oder spritzen Tinte aus Druckköpfen. Viele weitere Anwendungen könnten von MEMS profitieren, doch die Schwierigkeiten beim Verpacken der winzigen Helfer verhinderten bisher eine Verbreitung in Massenmärkten. Das Problem: Die empfindlichen elektronischen und mechanischen Komponenten müssen hermetisch versiegelt und vor Umwelteinflüssen geschützt sein, gleichzeitig sollen aber elektrische Signale hinein und heraus gelangen. Beide Forderungen erfüllt SCHOTT HermeS(TM), eine neue Technik zur Herstellung von Glassubstraten mit eingebetteten Metalldurchführungen, entwickelt von der NEC SCHOTT Components Corporation (NSC), dem
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