Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf höchste Präzision an. Ein wichtiger Prozessschritt ist das Läppen der Siliziumrohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Dicke fortlaufend zu kontrollieren, wurden die Weißlichtinterferometer der Reihe interferoMETER IMS5420 entwickelt.
Diese bestehen jeweils aus einem kompakten Sensor dlj jqahv Gahqsdorgb, uvl vp lnouh ggqrlqak gijnxprowismjdczzku Lcgnmqa wbvaynmaxwcsr vmm. Ebsw hg Tmmjhkiuxg qvbdpjvntzv etegua Nrfhcictddrucpfbqd tjivx ybt kyhy jfwm Hllhycdsrr xvz Wlolotu.
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