Auf dem Stand zur Laser Messe der Firma Physik Instrumente (PI) wird daher eine breite Palette von Mikro- und Nanopositioniersystemen vorgestellt:
Zur hochdynamischen und sehr genauen Ausrichtung von Laserstrahlen eignen sich Piezo-Kippspiegel. Sie bieten in mehrachsigen Anwendungen kompakteste Abmessungen und einen linearen Strahlengang ohne Versatz. Mit zwei Achsen besitzt die schnellen Systeme optische Kippwinkel bis zu 100 mrad und Auflösungen bis 0,02 µrad.
Positionierung mit Nanometer-Auflösung und konstanter Geschwindigkeit, wie es die optische Inspektion erfordert, ermöglichen erstmals Hybrid-Positioniersysteme. Die sehr präzisen Linearversteller mit DC-Motor und integriertem Piezosystem sowie gemeinsamer Ansteuerung bieten über den gesamten Stellweg von 100 mm äußerst gleichmäßige Geschwindigkeiten und kleinste Schrittweiten bis 0,004 µm.
Mikrostelltische für die Photonik und Automatisierung sind als Baukastensystem aufgebaut. Die 48 Varianten der Linearversteller mit vielfältigen Kombinationen aus Grundprofilen, Elektromotoren und Spindeln decken unterschiedliche Anforderungen an Stellweg, Last und Genauigkeit ab. Bei Stellwegen bis zu 300 mm bieten sie eine kleinste Schrittweite bis 0,1 µm. Eine besonders kostengünstige Kombination bilden Schrittmotor-Stelltischen und MercuryTM Step Controller.
Als Alternative zu Motor-Spindel-Kombinationen bieten sich PILine® Piezo-Linearantriebe an mit flacher, kompakter Bauform sowie hohen Geschwindigkeiten bis 600 mm/s. Mit Auflösungen von 0,1 µm erschließen sie viele Anwendungsbereiche. Die verschiedenen Integrationsstufen lassen sie sich gut an die jeweilige OEM-Applikation anpassen.
Zur hochdynamischen und sehr genauen Ausrichtung von Laserstrahlen eignen sich Piezo-Kippspiegel. Sie bieten in mehrachsigen Anwendungen kompakteste Abmessungen und einen linearen Strahlengang ohne Versatz. Mit zwei Achsen besitzt die schnellen Systeme optische Kippwinkel bis zu 100 mrad und Auflösungen bis 0,02 µrad.
Positionierung mit Nanometer-Auflösung und konstanter Geschwindigkeit, wie es die optische Inspektion erfordert, ermöglichen erstmals Hybrid-Positioniersysteme. Die sehr präzisen Linearversteller mit DC-Motor und integriertem Piezosystem sowie gemeinsamer Ansteuerung bieten über den gesamten Stellweg von 100 mm äußerst gleichmäßige Geschwindigkeiten und kleinste Schrittweiten bis 0,004 µm.
Mikrostelltische für die Photonik und Automatisierung sind als Baukastensystem aufgebaut. Die 48 Varianten der Linearversteller mit vielfältigen Kombinationen aus Grundprofilen, Elektromotoren und Spindeln decken unterschiedliche Anforderungen an Stellweg, Last und Genauigkeit ab. Bei Stellwegen bis zu 300 mm bieten sie eine kleinste Schrittweite bis 0,1 µm. Eine besonders kostengünstige Kombination bilden Schrittmotor-Stelltischen und MercuryTM Step Controller.
Als Alternative zu Motor-Spindel-Kombinationen bieten sich PILine® Piezo-Linearantriebe an mit flacher, kompakter Bauform sowie hohen Geschwindigkeiten bis 600 mm/s. Mit Auflösungen von 0,1 µm erschließen sie viele Anwendungsbereiche. Die verschiedenen Integrationsstufen lassen sie sich gut an die jeweilige OEM-Applikation anpassen.
