Was ist so besonders an solchen Sensoren? Darum geht es in einem vielbeachteten Artikel im
Wissenschaftsmagazin Nature. Beteiligt an dieser Veröffentlichung: Eine Arbeitsgruppe der
Hochschule Kaiserslautern Und diese wurde sogar – eine seltene Ehre – als Forschungshighlight
ausgezeichnet.
Was löst einen Airbag aus oder dreht den Handy-Bildschirm? Prof. Dr. Stefan Braun, Experte für
miniaturisierte mechanische Systeme vom Fachbereich Informatik und Mikrosystemtechnik der
Hochschule Kaiserslautern weiß das natürlich. Es geht um winzige Beschleunigungssensoren.
Diese sorgen für Sicherheit im Auto und für den Komfort, bei Tablet, Smartphone und Co. zwischen
Porträt- und Landscapeansicht wechseln zu können. Diese Sensoren sind Mikro-Elektro-Mechanische
System (MEMS). Kaum bekannt, obwohl sie doch in vielen alltäglichen Situationen nützlich sind. Sie
erkennen z.B. im Telefon Drehbewegungen und Beschleunigungen. Beim Smartphone nette Spielerei,
im Flugzeug, für Roboter und in Windkraftanlagen zwingende Notwendigkeit.
Stark vereinfacht bestehen diese Sensoren aus elektrischen Kondensatoren und einem kleinen
Gewicht aus Silizium, das wiederum an dünnen Federn aus Silizium hängt. Gewicht und Federn sind
sehr klein: im Bereich von hundert Mikrometern. So „dick“ ist auch ein menschliches Haar. Das
Gewicht an den Federn bewegt sich, wenn Drehbewegungen und Beschleunigungen einwirken.
Dabei ändert sich die Kapazität in den Kondensatoren, das wird gemessen, die Ergebnisse zur
Regelung genutzt.
Um solche Mini-Sensoren herzustellen, braucht es eine enorm teure Infrastruktur. Diese Kosten
werden erträglich durch die Produktion sehr hoher Stückzahlen. Die Kosteneffizienz gelingt aber nur,
wenn viele Sensoren gleichzeitig hergestellt werden und damit alle identisch sind. Gebraucht werden
aber auch spezialisierte MEMS-Bauteile in kleinen und mittleren Stückzahlen. Für deren
kostengünstige Herstellung sind bisher übliche Verfahren jedoch nicht geeignet. Wie in vielen anderen
Bereichen, knn auch hier der 3D-Druck eine Lösung sein.
Daran haben Braun und seine Kolleg*innen aus Zweibrücken zusammen mit Forscher*innen der
Königlichen Technischen Hochschule KTH Stockholm gearbeitet. Zuerst ging es darum, den Ansatz
„3D Druck von Sensoren“ prinzipiell auf Machbarkeit zu prüfen. Das gelang. Das verwendete spezielle
3D-Druck Verfahren basiert auf der Zwei-Photonen-Polymerisation – hiermit können Objekte von nur
wenigen hundert Nanometern hergestellt werden. Nach anschließender Metallbeschichtung wurden
Prototypen von Beschleunigungssensoren in gleicher Größenordnung wie „konventionelle“ MEMSBeschleunigungssensoren hergestellt. Ein Proof-of-Concept demonstriert, dass die Methode für
Prototyping und Herstellung von MEMS-Bauteilen in Kleinserien technisch umsetzbar ist.
„Unser Anteil lag im Design und der Simulation dieses Prototypen“, erklärt Braun. Sehr erfreut ist er
über die positive Resonanz auf die wissenschaftlichen Veröffentlichungen sowie die Auszeichnung als
www.hs-kl.de
„Forschungshighlight“ in den renommierten Journalen „Nature Microsystems & Nanoengineering“ und
„Nature Electronics“
Wissenschaftsmagazin Nature. Beteiligt an dieser Veröffentlichung: Eine Arbeitsgruppe der
Hochschule Kaiserslautern Und diese wurde sogar – eine seltene Ehre – als Forschungshighlight
ausgezeichnet.
Was löst einen Airbag aus oder dreht den Handy-Bildschirm? Prof. Dr. Stefan Braun, Experte für
miniaturisierte mechanische Systeme vom Fachbereich Informatik und Mikrosystemtechnik der
Hochschule Kaiserslautern weiß das natürlich. Es geht um winzige Beschleunigungssensoren.
Diese sorgen für Sicherheit im Auto und für den Komfort, bei Tablet, Smartphone und Co. zwischen
Porträt- und Landscapeansicht wechseln zu können. Diese Sensoren sind Mikro-Elektro-Mechanische
System (MEMS). Kaum bekannt, obwohl sie doch in vielen alltäglichen Situationen nützlich sind. Sie
erkennen z.B. im Telefon Drehbewegungen und Beschleunigungen. Beim Smartphone nette Spielerei,
im Flugzeug, für Roboter und in Windkraftanlagen zwingende Notwendigkeit.
Stark vereinfacht bestehen diese Sensoren aus elektrischen Kondensatoren und einem kleinen
Gewicht aus Silizium, das wiederum an dünnen Federn aus Silizium hängt. Gewicht und Federn sind
sehr klein: im Bereich von hundert Mikrometern. So „dick“ ist auch ein menschliches Haar. Das
Gewicht an den Federn bewegt sich, wenn Drehbewegungen und Beschleunigungen einwirken.
Dabei ändert sich die Kapazität in den Kondensatoren, das wird gemessen, die Ergebnisse zur
Regelung genutzt.
Um solche Mini-Sensoren herzustellen, braucht es eine enorm teure Infrastruktur. Diese Kosten
werden erträglich durch die Produktion sehr hoher Stückzahlen. Die Kosteneffizienz gelingt aber nur,
wenn viele Sensoren gleichzeitig hergestellt werden und damit alle identisch sind. Gebraucht werden
aber auch spezialisierte MEMS-Bauteile in kleinen und mittleren Stückzahlen. Für deren
kostengünstige Herstellung sind bisher übliche Verfahren jedoch nicht geeignet. Wie in vielen anderen
Bereichen, knn auch hier der 3D-Druck eine Lösung sein.
Daran haben Braun und seine Kolleg*innen aus Zweibrücken zusammen mit Forscher*innen der
Königlichen Technischen Hochschule KTH Stockholm gearbeitet. Zuerst ging es darum, den Ansatz
„3D Druck von Sensoren“ prinzipiell auf Machbarkeit zu prüfen. Das gelang. Das verwendete spezielle
3D-Druck Verfahren basiert auf der Zwei-Photonen-Polymerisation – hiermit können Objekte von nur
wenigen hundert Nanometern hergestellt werden. Nach anschließender Metallbeschichtung wurden
Prototypen von Beschleunigungssensoren in gleicher Größenordnung wie „konventionelle“ MEMSBeschleunigungssensoren hergestellt. Ein Proof-of-Concept demonstriert, dass die Methode für
Prototyping und Herstellung von MEMS-Bauteilen in Kleinserien technisch umsetzbar ist.
„Unser Anteil lag im Design und der Simulation dieses Prototypen“, erklärt Braun. Sehr erfreut ist er
über die positive Resonanz auf die wissenschaftlichen Veröffentlichungen sowie die Auszeichnung als
www.hs-kl.de
„Forschungshighlight“ in den renommierten Journalen „Nature Microsystems & Nanoengineering“ und
„Nature Electronics“
