Bei der Herstellung von Halbleitern spielt Vakuumtechnologie eine entscheidende Rolle. COBRA Semicon, die trockenen Schrauben-Vakuumpumpen von Busch sind ideal für anspruchsvolle Prozesse bei der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion sowie für verschiedene industrielle Beschichtungsanwendungen. Sie arbeiten besonders effizient dank ihrer patentierten selbstausbalancierenden Schrauben.
Für die Evakuierung von Load-Lock-Kammern bietet Busch die kompakte und energieeffiziente Vakuumlösung TORRI. Diese mehrstufigen Drehkolben-Vakuumpumpen zeichnen sich durch niedrigen Enddruck und hervorragende Kammer-Evakuierungszeiten aus, was die Gesamtzykluszeiten reduziert.
Auf der SEMICON Europa präsentiert sich Busch als zuverlässiger Partner für das Sub-Fab-Management, mit Vakuumpumpen, Abluftreinigungsanlagen, sowie entsprechendem Equipment.
Die Vakuumexperten von Busch bieten ferner einen 24h-Service im Bereich Fein- und Hochvakuum, einschließlich Fremdfabrikaten. Dieser Vor-Ort-Service ermöglicht es Kunden, sich vollkommen auf ihre Prozesse zu konzentrieren. Kritische Sub-Fab-Anlagen werden von Busch überwacht und vorausschauend gewartet, was Produktionsausfälle minimiert sowie Energie- und Kosteneinsparungen ermöglicht.
Besuchen Sie Busch Vacuum Solutions auf der SEMICON Europa vom 14. bis 17. November in München. Tauschen Sie sich mit unseren erfahrenen Vakuumexperten auf unserem Gemeinschaftsstand von Silicon Saxony in Halle B1, Standnummer 221 aus.
Für die Evakuierung von Load-Lock-Kammern bietet Busch die kompakte und energieeffiziente Vakuumlösung TORRI. Diese mehrstufigen Drehkolben-Vakuumpumpen zeichnen sich durch niedrigen Enddruck und hervorragende Kammer-Evakuierungszeiten aus, was die Gesamtzykluszeiten reduziert.
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Die Vakuumexperten von Busch bieten ferner einen 24h-Service im Bereich Fein- und Hochvakuum, einschließlich Fremdfabrikaten. Dieser Vor-Ort-Service ermöglicht es Kunden, sich vollkommen auf ihre Prozesse zu konzentrieren. Kritische Sub-Fab-Anlagen werden von Busch überwacht und vorausschauend gewartet, was Produktionsausfälle minimiert sowie Energie- und Kosteneinsparungen ermöglicht.
Besuchen Sie Busch Vacuum Solutions auf der SEMICON Europa vom 14. bis 17. November in München. Tauschen Sie sich mit unseren erfahrenen Vakuumexperten auf unserem Gemeinschaftsstand von Silicon Saxony in Halle B1, Standnummer 221 aus.
