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Neue sensorische Mikro- und Nanosysteme

TU Chemnitz ist Teil einer interdisziplinären Forschergruppe, die Siliziumbauelemente weiter verkleinern und mit neuen Zusatzfunktionen ausstatten will

(PresseBox) (Chemnitz, )
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) richtet neun neue Forschergruppen ein und fördert diese vorerst über drei Jahre hinweg mit 19,3 Millionen Euro. Eine dieser Forschergruppen geht nun in Sachsen an den Start und entwickelt zukunftsweisende mikro- und nanotechnologische Konzepte für Sensoranwendungen. "In der ersten Förderphase von 2011 bis 2014 stehen die Integration von Nanostrukturen und neuen Materialien sowie die räumliche und funktionelle Integration heterogener Komponenten im Blickpunkt", sagt der Sprecher der interdisziplinären Forschergruppe, Prof. Dr. Thomas Geßner. Als Direktor des Zentrums für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz und gleichzeitig Leiter des Fraunhofer-Institutes für Elektronische Nanosysteme ENAS koordiniert er die Arbeit der
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