Wie rau, wie eben, wie hart, wie verformbar? Exakte Oberflächenmesstechnik ist in vielen Bereichen der Forschung und Produktion von großer Bedeutung. Vor allem in der Mikrosystemtechnik und der Nanotechnologie müssen geometrische Maße und Oberflächeneigenschaften mit hoher Genauigkeit erfasst werden. Wissenschaftler der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) haben ein ganzes Portfolio an MEMS-basierten Oberflächenmessgeräten entwickelt, mit denen sich kleinste Weglängenänderungen und Kräfte auf einfache Weise messen lassen. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) werden heutzutage millionenfach eingesetzt, zum Beispiel im Automobilbau. Jetzt werden diese MEMS erstmals auch für Ultrapräzisionssensorik genutzt. Zu sehen sind die MEMS-basierten Oberflächenmessgeräte vom 7. bis 9. Juni auf der Nürnberger Kxeoo Phawyb l Aoiw 4191 nm Fskux 79, Twtxv 935.
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