Immer häufiger erfordern industrielle Anwendungen Materialien, bei denen es auf höchste thermische Stabilität ankommt. Zur genauen Messung dieser Eigenschaft ist in der Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ein Präzisionsinterferometer entwickelt worden. Mit ihm kann in einer Absolutmessung die Längenänderung in Abhängigkeit von Temperatur, Zeit und gegebenenfalls Umgebungsdruck hochgenau bestimmt werden.
Thermisch stabile Materialien spielen eine wichtige Rolle in der dimensionellen Messtechnik und in der Präzisionsfertigung. Die zurzeit höchsten Anforderungen an die thermische Stabilität kritischer Komponenten werden in der EUV-Lithographie an die Reflexionsmasken und -spiegel gestellt. Diese basieren deshalb auf Substraten aus Hightech-Gläsern/Keramiken, die einen sehr geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten á aufweisen sollen
Thermisch stabile Materialien spielen eine wichtige Rolle in der dimensionellen Messtechnik und in der Präzisionsfertigung. Die zurzeit höchsten Anforderungen an die thermische Stabilität kritischer Komponenten werden in der EUV-Lithographie an die Reflexionsmasken und -spiegel gestellt. Diese basieren deshalb auf Substraten aus Hightech-Gläsern/Keramiken, die einen sehr geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten á aufweisen sollen
(s ;e 9 - 44-3 - A-3).
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