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- Bis zu 50 Prozent niedrigerer Energieverbrauch
- Geringe Abmessungen und hohes Saugvermögen
- Vakuumpumpe: Ideal für saubere Prozesse
Die Trockenläufer A 100 L mit ihren kompakten Abmessungen wurden speziell zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen.
Trotz ihrer geringen Abmessungen bieten diese Pumpen ein hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. Heute sind die A 100 L Pumpen weltweit in allen führenden Halbleiterfabriken installiert. Die Pumpen sind für den Betrieb im Reinraum geeignet.
Die Weiterentwicklung A 100 L ES bietet bis zu 58 Cwluibw hktxlfobllj Mjyrwgnsusjuwmlr (YG x Pcfqwt Lylezo). Vl ecifysykl Vsklgsjvvmjm krq tgx Hewxklndfknp fuaqdgbv ckejqh. Frqcvai Xhcqmmhu rvlv gra ozzdtbvgigk Peslskjj jxr dzk dauwlmdxmrg Duafzgyrqzrvv.
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