Der Excimerlaser findet seinen Einsatz vor allem in der Mikromaterialbearbeitung. Durch die kürzeren Wellenlängen im UV-Bereich können viele Materialien bearbeitet werden, für die die längeren Wellenlängen der CO2- und Nd:YAG-Laser nicht geeignet sind. Insbesondere sind Glas, kristalline Materialien (Saphir, Quarz), Keramiken und verschiedene Kunststoffe hervorzuheben. Im Mikrobereich
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