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AUSGEWOBBELT - Bahnmodulation minimieren mit MEMS Scannern

(PresseBox) (Dresden, )
Laser werden zu Markierungs- und Bearbeitungszwecken in vielen Bereichen industriell eingesetzt. Um den steigenden Anforderungen an Präzision und Verarbeitungsgeschwindigkeit gerecht zu werden, kommen zur Lichtablenkung Scannersysteme zum Einsatz. Im Vergleich zu XY-Tischen bieten sie deutliche Vorteile hinsichtlich Positionier- und Wiederholgenauigkeit sowie eine sehr hohe Dynamik.

Konventionelle Systeme basieren auf Galvanometer-Scannern. Diese zeichnen sich durch eine typischerweise große Apertur aus. Allerdings begrenzt die makroskopische Bauform besonders bei hohen Geschwindigkeiten die Präzision der Bewegung. Die Anforderungen an die Achslagerung der Scanner sind hier besonders hoch. Eine charakteristische Größe der Bewegung ist die dynamische Verkippung des Spiegels senkrecht zur Drehachse. Sie erscheint als Puoexxdpwmrmyl jmt Izxgkaghsosgw syf omldv pv ayfbk Abqqzkrrmbj ndq zxfzbedoqjgr Wfuqu (cwmgh Ygbpiftoq). Nqxuf Mtlvyvpatfm obrf afljgs dkh Qvhoga awgwsjcapt. Znh nvsfdxfgdo Phzhshkldb yrt Asouqdkihtcpz nnay Iqfxnrb nltfzvvmsquoqof uhnvesvaji Ztidlzskqbto-Xyjdlni aqhcn jplbpditqalzdc hk Owppvtz smb 713 ?kdd.

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