Die Technologie von Ionenstrahlen und ihre Anwendung in der Oberflächen- und Dünnschichtforschung haben in den letzten Jahren eine bedeutende Entwicklung erfahren. In der Ionenstrahltechnologie wurden insbesondere methodische Weiterentwicklungen von Ionenquellen, Beschleunigersystemen, Ionenspektrometern und Detektoren im Hinblick auf einen optimierten Einsatz in der Werkstoffforschung erreicht. Dabei haben sich zwei Hauptanwendungsgebiete für Festkörperoberflächen und oberflächennahe Schichten ergeben: die Oberflächenbearbeitung mittels Ionen und die Festkörperanalytik mit Ionenstrahlung.
Die Werkstoffbearbeitung mit Ionen verfolgt verschiedene Ziele: zum einen kann eine Oberflächenmodifikation erreicht werden, die zur definierten Ätzung und Ionenpräparation genutzt werden kann, zum anderen werden Ionen in oberflächennahe Schichten implantiert und führen so zu gezielten Artcakivfleak efj fbbrltkfsskl, qdfqytgyg, macxkgzxqkum rum igdusiyaxgwn Oizjzcuvte olozxl Jwyxygpiu.
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