Coherent Inc. stellt heute den neuen Excimerlaser LAMBDA SX 315C vor, der durch eine erhebliche Steigerung von Ausbeute und Durchsatz eine signifikante Senkung der Herstellungskosten von Flachbildschirmen ermöglicht. Der LAMBDA SX 315C ist optimiert für die Herstellung von polykristallinem Silizium im Niedrigtemperaturverfahren (LTPS). Das Silizium wird als Basismaterial für hochauflösende Flachbildschirme verwendet. Hohe Pulsenergien von bis zu 1050mJ bei 308nm mit einer extrem hohen Energiestabilität (0,5%) ermöglichen eine hohe Produktivität bei gesteigerter Qualität. Die patentierten PowerLok und TimeLok Technologien garantieren eine Laserperformance, die unter allen Bedingungen stabil ist.
Durch die weite Verbreitung von mobilen elektronischen Geräten wächst der Bedarf an
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