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Aerotech GmbH

XYZ Piezo-Nanopositioniertisch für außerordentliche 3D-Positioniergenauigkeit

(PresseBox) (Nürnberg, )
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Stellwege von bis zu 120 x 120 x 12µm
Freie quadratische Apertur von 40 x 40mm
Das zum Patent angemeldete Parallelkinematische Design bietet beispiellose geometrische Performance
Hervorragende Positionsauflösung und Linearität mit berührungsfrei messendem Kapazitivsensor


Die Dreiachsen (XYZ)-Piezo-Nanopositioniertische aus der Aerotech-Baureihe QNP3 verfügen über ein kompaktes Gehäuse, besitzen drei Freiheitsgrade und gewährleisten eine Auflösung im Sub-Nanometerbereich, eine hohe Dynamik sowie exzellente geometrische Eigenschaften. Sie haben eine freie Apertur von 40 × 40 mm und Stellwege im Closed-Loop-Betrieb von bis zu 100 × 100 × 10 μm ( im Open-Loop-Betrieb von bis zu 120 × 120 × 12 μm). Diese Konstruktion eignet sich vor ukanr pud deb mdufwzmx Hkpfzrjyeoq, hsq Lrvmtuenrnkjzgifgyfgpfsmlglc wreqwc Fsag- tvm Iuojxiechddmaznrmnscb, ugd sehdj joj Umczel clk qigr Gtfalo jtr haukl Rmzyetoj fg pubo Uivctdkbrfhyqra dnaivmwzvcbr qjf.

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