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Beschreibung

Das IMMS-Patent auf ein neues Regelungskonzept zur sub-nanometergenauen Positionierung wurde anlässlich der iENA-Erfindermesse 2024 mit einer Silbermedaille ausgezeichnet. Das Bild zeigt das 6D-Nanometer-Planar-Positioniersystem, mit dem das Konzept validiert wurde.

Foto: IMMS

Herausgeber

ELMUG eG

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