Carl Zeiss liefert heute sein 25. Großgerät zur Reparatur von Photomasken aus - ein Kunde aus Italien hatte das mehrere Millionen Euro teure System bestellt. Das System MeRiT® kann Defekte auf Photomasken mit einer Genauigkeit im Nanometer-Bereich reparieren. Basierend auf einer speziellen Elektronenstrahltechnologie wird dabei fehlendes Material aufgetragen oder überschüssiges Material weggeätzt.
"Das MeRiT feiert dieses Jahr seinen zehnten Geburtstag", sagt Dr. Oliver Kienzle, Geschäftsführer der Carl Zeiss SMS GmbH. "Die Technologie der aktuellen Generation hat sich seit 2002 sehr stark entwickelt und ist enorm erfolgreich. Nahezu alle führenden Photomaskenhersteller weltweit setzen ein oder mehrere MeRiT® Systeme produktiv ein".
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