Messung und Visualisierung ultrahochfrequenter mechanischer Schwingungen von Mikrosystemen
In der Mikrosystemtechnik stellen Systeme mit ultrahochfrequenten mechanischen Bewegungen große Herausforderungen für di…
In der Mikrosystemtechnik stellen Systeme mit ultrahochfrequenten mechanischen Bewegungen große Herausforderungen für di…