Die SINGULUS TECHNOLOGIES AG (SINGULUS TECHNOLOGIES) hat von einem der führenden Hersteller für Halbleiterproduktionsanlagen den Auftrag für den Bau einer komplexen TIMARIS Vakuum Beschichtungsanlage erhalten. Das gesamte Projektvolumen liegt im hohen einstelligen Millionen Euro Bereich.
Die neue Anlage soll für das Aufbringen von kritischen metallischen Schichtsystemen für ein Dünnschichtprodukt im Bereich der Halbleiterindustrie eingesetzt werden.
Die Vakuum-Beschichtungslage des Typs TIMARIS von SINGULUS TECHNOLOGIES ist mit verschiedenen Prozess- und Zusatzmodulen ausgestattet und wird für das Aufbringen von sehr dünnen Schichten im Vakuum auf Dünnschichtprodukte eingesetzt. Es handelt sich dabei u.a. um Beschichtungseinheiten, die mit mehreren Kathoden ausgestattet werden können und im Ultrahochvakuum von < 10-8 Torr arbeiten.
Die neue Anlage soll für das Aufbringen von kritischen metallischen Schichtsystemen für ein Dünnschichtprodukt im Bereich der Halbleiterindustrie eingesetzt werden.
Die Vakuum-Beschichtungslage des Typs TIMARIS von SINGULUS TECHNOLOGIES ist mit verschiedenen Prozess- und Zusatzmodulen ausgestattet und wird für das Aufbringen von sehr dünnen Schichten im Vakuum auf Dünnschichtprodukte eingesetzt. Es handelt sich dabei u.a. um Beschichtungseinheiten, die mit mehreren Kathoden ausgestattet werden können und im Ultrahochvakuum von < 10-8 Torr arbeiten.
