Mit Stellwegen bis 80 µm und einem direkten piezoaktorischen Antrieb bieten die flachen und schmalen Verstelleinheiten hohe Scanfrequenzen und Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden. Bei einer Breite von nur 50 mm besitzen sie eine große Apertur mit 30 mm Durchmesser.
Die Antriebstechnologie der hochdynamischen Piezo-Nanopositioniersysteme basiert auf vollkeramisch isolierten PICMA® Piezoaktoren. Sie haben nachweislich eine höhere Lebensdauer und Zuverlässigkeit als herkömmlich polymerisolierte Aktoren.
Die Positioniergenauigkeit und Stabilität im Bereich einzelner Nanometer wird durch einen integrierten kapazitiven Wegmesssensor erreicht.
Eine optimale Ansteuerung erfolgt mit dem leistungsfähigen einkanaligen Motion Controller E-709.CHG. Seine Digitaltechnik ermöglicht fortgeschrittene Linearisierungsalgorithmen zur Verbesserung der Genauigkeit und die einfache Optimierung von Betriebsparametern per Software.
Weiterführende Informationen finden Sie unter: http://www.physikinstrumente.de/...