Die Mikroelektronik-Spezialisten in Stuttgart brauchen mehr Platz für neues Hightech- Equipment. Am 15. Februar findet deshalb der Spatenstich zu einer Reinraumerweiterung in Vaihingen statt. Bei IMS CHIPS wird der Reinraum mit einem Anbau um mehr als die Hälfte der bisherigen Fläche vergrößert. Der Grund: immer kleinere Strukturen erfordern immer aufwändigere und größere Geräte. Die Mikroelektronik und die Nanotechnologie benötigen künftig Produktionsanlagen, mit denen Strukturen erzeugt werden können, die weit über zehntausendmal dünner sind, als ein menschliches Haar. IMS CHIPS rüstet sich für diese Anforderungen und wird einen Elektronenstrahl- Schreiber der neuesten Generation der Firma Vistec Electron Beam GmbH aus Jena beschaffen. Dieser ermöglicht die Belichtung vielfältiger Substrate mit minimalen Strukturbreiten von 30 Nanometern bei sehr hohem Durchsatz.
Die Finanzierung dieses aufwändigen, neuen Großgeräts war nur möglich über einen Forschungsverbund zwischen der Carl Zeiss SMT GmbH und IMS CHIPS. Finanzielle Unterstützung leisteten sowohl das Land Baden-Württemberg als auch die Carl Zeiss SMT GmbH. Damit wird die bei IMS CHIPS vorhandene weltweit einmalige technologische Infrastruktur zur Serienfertigung von Nanostrukturen auf runden Wafer- und rechteckigen Maskensubstraten für die nächste Dekade gerüstet sein.
IMS CHIPS unterstützt in erster Linie kleine und mittlere Unternehmen bei der Entwicklung mikro-/nanoelektronischer und mikro-/nanomechanischer Systeme und Komponenten. Weiterhin kooperieren IMS CHIPS und die Carl Zeiss SMT GmbH seit vielen Jahren auf dem Gebiet hochkomplexer Scanner-Objektive, die in Waferscannern zur Anwendung kommen. Diese vertreibt der Weltmarktführer ASML (Niederlande), der in strategischer Partnerschaft mit der Carl Zeiss SMT GmbH steht. Der neue Schreiber bei IMS CHIPS bildet die Grundlage für die Fortsetzung dieser erfolgreichen Zusammenarbeit einerseits und ermöglicht andererseits, dass den mittelständischen Partnern und Kunden von IMS CHIPS auch weiterhin die fortschrittlichste Strukturierungstechnologie für Ihre Entwicklungen zur Verfügung steht.
Vistec Electron Beam Lithography Group
Die Vistec Electron Beam Lithography Group ist eine internationale Unternehmensgruppe die sich mit der Entwicklung, Fertigung, Verkauf und Service von Elektronenstrahl- Lithographieanlagen beschäftigt. Vistec's Elektronenstrahl-Lithographieanlagen haben heute einen gesicherten Platz sowohl in der Halbleiterindustrie als auch in führenden Universitäten und Forschungseinrichtungen. Die Anwendungsfelder reichen von Mikro - und Nanoelektronik, über Integrierte Optik bis hin zu den vielfältigen Anwendungen im Bereich der Nano - und Biotechnologien. Die Vistec Electron Beam Lithography Group vereint unter ihrem Dach zwei traditionsreiche Firmen: Die Vistec Electron Beam GmbH und die Vistec Lithography, Inc.
www.vistec-semi.com
Vistec Electron Beam
Die Vistec Electron Beam GmbH mit Sitz in Jena ist ein weltweit agierendes Unternehmen der Halbleitergeräteausrüstungsbranche. Die Firma entwickelt, produziert, verkauft und betreibt Service von Elektronenstrahl-Lithographieanlagen, die auf der Basis des Variable Shaped Beam Prinzips arbeiten. Die Anlagen kommen überwiegend in der Halbleiterindustrie und der Angewandten Forschung zum Einsatz.
Vistec Lithography
Die Vistec Lithography mit Firmensitz in Watervliet (USA, Bundesstaat New York) ist ein weltweit anerkannter Lieferant von Punktstrahlgeräten. Die Anlagen finden sich in nahezu allen führenden Forschungseinrichtungen und Universitäten der Welt.
Die Finanzierung dieses aufwändigen, neuen Großgeräts war nur möglich über einen Forschungsverbund zwischen der Carl Zeiss SMT GmbH und IMS CHIPS. Finanzielle Unterstützung leisteten sowohl das Land Baden-Württemberg als auch die Carl Zeiss SMT GmbH. Damit wird die bei IMS CHIPS vorhandene weltweit einmalige technologische Infrastruktur zur Serienfertigung von Nanostrukturen auf runden Wafer- und rechteckigen Maskensubstraten für die nächste Dekade gerüstet sein.
IMS CHIPS unterstützt in erster Linie kleine und mittlere Unternehmen bei der Entwicklung mikro-/nanoelektronischer und mikro-/nanomechanischer Systeme und Komponenten. Weiterhin kooperieren IMS CHIPS und die Carl Zeiss SMT GmbH seit vielen Jahren auf dem Gebiet hochkomplexer Scanner-Objektive, die in Waferscannern zur Anwendung kommen. Diese vertreibt der Weltmarktführer ASML (Niederlande), der in strategischer Partnerschaft mit der Carl Zeiss SMT GmbH steht. Der neue Schreiber bei IMS CHIPS bildet die Grundlage für die Fortsetzung dieser erfolgreichen Zusammenarbeit einerseits und ermöglicht andererseits, dass den mittelständischen Partnern und Kunden von IMS CHIPS auch weiterhin die fortschrittlichste Strukturierungstechnologie für Ihre Entwicklungen zur Verfügung steht.
Vistec Electron Beam Lithography Group
Die Vistec Electron Beam Lithography Group ist eine internationale Unternehmensgruppe die sich mit der Entwicklung, Fertigung, Verkauf und Service von Elektronenstrahl- Lithographieanlagen beschäftigt. Vistec's Elektronenstrahl-Lithographieanlagen haben heute einen gesicherten Platz sowohl in der Halbleiterindustrie als auch in führenden Universitäten und Forschungseinrichtungen. Die Anwendungsfelder reichen von Mikro - und Nanoelektronik, über Integrierte Optik bis hin zu den vielfältigen Anwendungen im Bereich der Nano - und Biotechnologien. Die Vistec Electron Beam Lithography Group vereint unter ihrem Dach zwei traditionsreiche Firmen: Die Vistec Electron Beam GmbH und die Vistec Lithography, Inc.
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Vistec Electron Beam
Die Vistec Electron Beam GmbH mit Sitz in Jena ist ein weltweit agierendes Unternehmen der Halbleitergeräteausrüstungsbranche. Die Firma entwickelt, produziert, verkauft und betreibt Service von Elektronenstrahl-Lithographieanlagen, die auf der Basis des Variable Shaped Beam Prinzips arbeiten. Die Anlagen kommen überwiegend in der Halbleiterindustrie und der Angewandten Forschung zum Einsatz.
Vistec Lithography
Die Vistec Lithography mit Firmensitz in Watervliet (USA, Bundesstaat New York) ist ein weltweit anerkannter Lieferant von Punktstrahlgeräten. Die Anlagen finden sich in nahezu allen führenden Forschungseinrichtungen und Universitäten der Welt.
