Eine stabile RFID-gestützte Carrier-Übergabe gemäß SEMI E84 bildet daher die Grundlage für sichere und effiziente automatisierte Materialflüsse.
Mit dem HERMOS LFM Reader E84 profitieren Halbleiterhersteller von einer zuverlässigen Lösung für die Carrier-Identifikation und die Kommunikation zwischen Loadport und OHT-System:
- Zuverlässige FOUP-Identifikation während der Carrier-Übergabe
- Stabile Kommunikation zwischen Loadport und OHT-System
- Reduziertes Risiko von Transportfehlern und Stillständen
- Unterstützung vollautomatisierter AMHS-Prozesse
- Zuverlässige Performance auch in metallischen Fab-Umgebungen
- Einfache Integration in bestehende Halbleitersysteme
Denn stabile Carrier-Übergaben sind die Voraussetzung für eine stabile Produktion.