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Zentrum für Mikrosystemtechnik gegründet

Fraunhofer EMFT, Siemens, LFoundry, KETEK und SÜSS MicroTec kooperieren bei Forschung und Entwicklung von Mikrosystemen

(PresseBox) (Landshut, )
Die Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien (EMFT), Siemens AG, LFoundry GmbH, KETEK GmbH und SÜSS MicroTec AG geben die Gründung des "Center für Mikrosystemintegration München" (CMM) bekannt. Durch die Zusammenarbeit der renommierten Partner mit umfassender Expertise bei der Technologie- und Produktentwicklung im Bereich Mikrosystemtechnik entsteht mit dem CMM ein leistungsstarkes und effizientes Technologie-Netzwerk. Das neu geschaffene CMM geht über bilaterale Kooperationen hinaus und soll als Keimzelle für ein Mikrosystemtechnik-Zentrum fungieren, das offen für die Erweiterung mit entsprechenden Partnern ist.

Mikrosystemtechnik ist ein Wachstumsmarkt und einer der wesentlichen Innovationsmotoren für nahezu alle Produkt- und Wirtschaftsbereiche. Die Anwendungsgebiete reichen vom Maschinenbau, über die Automobil-, Telekommunikations-, Konsum- und Leistungselektronik bis hin zur Medizin- und chemischen Verfahrenstechnik. Neben der Entwicklung und Realisierung der eigentlichen Mikrosysteme ist deren Integration in ein Makrosystem, wie z.B. ein Mobiltelefon oder Automobil, eine weitere wesentliche Aufgabe der Mikrosystemtechnik.

Die Kooperation beinhaltet in einem ersten Schritt die gemeinsame Technologie- und Produktentwicklung in den Bereichen Mikrosystem-Technologie, CMOS- bzw. fortschrittliche Silizium-Prozesse sowie vertikale Systemintegration (3D-Aufbau). Dafür bündeln die Kooperationspartner im CMM ihre Ressourcen. Einerseits werden vorhandene Reinräume und Labore der Partner gemeinsam genutzt, wobei bei Bedarf entsprechendes Equipment verlagert wird. Andererseits kann so auf redundante Räumlichkeiten bzw. Anlagen verzichtet werden. So entsteht ein gemeinsamer, sich ergänzender Technologie-, Anlagen- und Know-how-Pool mit hoch modernen leistungsfähigen und kosteneffizienten Prozess-Einrichtungen. Durch die effizientere Nutzung der Reinräume und kostspieligen Geräte bzw. Prozesse mit ihrem hohen Investitions- und Wartungsaufwand können die Entwicklungskosten reduziert werden. Damit wird die internationale Wettbewerbsfähigkeit gesichert, während andererseits das adressierte Produktspektrum erweitert werden kann.

Durch die enge strategische Zusammenarbeit der Experten steht umfassendes Know-how für die Bereitstellung und Umsetzung kreativer und innovativer, sowie zuverlässiger Lösungen zur Verfügung. Die Arbeit der Entwicklungs-Teams wird zudem durch die geographische Nähe gefördert. Das so entstehende Technologie-Cluster stärkt die Marktpräsenz und -durchdringung der beteiligten Einrichtungen bzw. Unternehmen.

„Mit Kontakten zu anderen Fraunhofer Instituten, zahlreichen Publikationen und Beteiligungen in vielen Institutionen bzw. Entwicklungskooperationen verfügt die Fraunhofer EMFT neben seiner technologischen Expertise auch über eine internationale Marktpräsenz“, sagte Professor Dr. Ignaz Eisele, Hauptabteilungsleiter an der EMFT. „Die Industrie bringt ihrerseits ein breites Netzwerk mit internen und externen Partnern sowie Material- und Equipment-Lieferanten in die Kooperation ein. Damit ist das CMM bestens positioniert, um für eine weltweite Kundenbasis die komplette Unterstützung von der Idee bzw. Vorgabe bis hin zur Serienfertigung zu bieten.“

„Diese Kooperation zwischen einem renommierten Institut wie dem EMFT und den Industrieunternehmen bringt vielfältige Synergie-Effekte mit sich“, sagte Dr. T. Scheiter, Leiter des Technologiefeldes ´Mikrosystemtechnik´ bei Siemens Corporate Technology und, zusammen mit Prof. Eisele, Initiator des CMM. „So ermöglicht der gemeinsame Pool an leistungsfähigen Tools und personeller Expertise innovative Lösungen für den Wachstumsmarkt der Mikrosystemtechnik, während sich das CMM zugleich auch als leistungsfähiger Partner für geförderte Forschungsprojekte empfiehlt.“

„Die Fraunhofer EMFT sieht in dem Center die einmalige Chance eigene und gemeinsam mit den Industriepartnern durchgeführte Entwicklungen mit produkttauglichen Technologien schnell in die Anwendung zu bringen“ betont Prof. Dr. Karlheinz Bock, kommissarischer Leiter der EMFT.

Die Kooperationspartner sind bisher schon auf gemeinsamen Aktivitätsfeldern wie MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme), Silizium-Prozesse oder neue Materialien tätig, aber auch mit unterschiedlichem Fokus in Bereichen wie der vertikalen Systemintegration oder leistungsfähigen Gehäusen. Damit ergeben sich vielfältige Möglichkeiten der gemeinsamen Zusammenarbeit und für künftige Erweiterungen. Endprodukte, die von dem Leistungsspektrum des CMM bei innovativen Mikrosystemtechnik-Produkten profitieren können, reichen von Sensoren, Aktoren und Embedded-Systemen über Solarzellen und LED-Beleuchtungstechnik über bis hin zur medizinischen Diagnose.


Über Fraunhofer EMFT
Die Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien (EMFT) entwickelt Technologien zur Optimierung von zuverlässigen Mikrosystemkomponenten. Ziel des Institutes ist, die Forschungs- und Entwicklungsergebnisse der verschiedenen Abteilungen rasch und effizient in Demonstratoren, anwendbare Verfahren sowie Dienstleistungen umzusetzen und diese für die Industrie nutzbar zu machen. Die Fraunhofer EMFT entwickelt Technologien zur weiteren Integration und Miniaturisierung von mikroelektronischen Systemen bei steigendem Funktionsumfang, neue Techniken für den Einsatz flexibler Materialien in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, integrierte Sensortechniken, biologische und chemische Sensorsysteme, Mikroaktuatoren und Fluidkomponenten. Weitere Informationen findet man unter www.emft.fraunhofer.de.

Über die Siemens AG
Die Siemens AG (Berlin und München) ist ein weltweit führendes Unternehmen der Elektronik und Elektrotechnik. Der Konzern ist auf den Gebieten Industrie und Energie sowie im Gesundheitssektor tätig. Siemens steht seit über 160 Jahren für technische Leistungsfähigkeit, Innovation, Qualität, Zuverlässigkeit und Internationalität. Siemens ist außerdem weltweit der größte Anbieter umweltfreundlicher Technologien. Mit rund 23 Milliarden Euro entfällt knapp ein Drittel des Konzernumsatzes auf grüne Produkte und Lösungen. Insgesamt erzielte Siemens im vergangenen Geschäftsjahr, das am 30. September 2009 endete, einen Umsatz von 76,7 Milliarden Euro und einen Gewinn nach Steuern von 2,5 Milliarden Euro. Ende September 2009 hatte das Unternehmen weltweit rund 405.000 Beschäftigte. Weitere Informationen finden Sie im Internet unter www.siemens.com.

Über die SÜSS MicroTec AG
SÜSS MicroTec (gelistet im Prime Standard der Deutsche Börse AG) ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SUSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithography und Schlüsselprozesse für die MEMS and LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com

Über die KETEK GmbH
Die Firma KETEK GmbH ist anerkannter Weltmarktführer in der Entwicklung und Produktion von hochempfindlicher Silizium-Strahlungsdetektoren für die Röntgenspektroskopie der neuesten Generation und in höchster Qualität. KETEK wurde 1989 von Dr. Josef Kemmer, einem weltbekannter Wissenschaftler im Bereich Halbleiterdetektorkonzepte und Detektortechnologie gegründet und wird heute in der zweiten Generation als Familienunternehmen geführt. Dr. Kemmer war Inhaber von mehr als 70 Patenten und Patentanmeldungen und an mehr als 160 wissenschaftlichen Veröffentlichungen maßgeblich beteiligt. Eine Revolution in der Detektorherstellung bewirkte der von ihm in den 1980er Jahren entwickelte Planarprozess für höchstreines Silizium. Dieser wird seither weltweit bei der Herstellung hochqualitativer Silizium-Strahlungsdetektoren eingesetzt. Im Jahr 2004 wurde KETEK der Innovationspreis des bayerischen Genossenschaftsverbandes der Volks- und Raiffeisenbanken für herausragende innovative Produkte und Technologieführerschaft verliehen. Diese Führungsrolle kann KETEK bis heute demonstrieren und seine Marktführerschaft noch weiter ausbauen. Weitere Informationen findet man unter www.ketek.net

Über die LFoundry GmbH
LFoundry ist ein kundenspezifischer Halbleiter-Auftragsproduzent im Bereich von analog, mixed-signal und spezialisierten Technologien. LFoundry bietet 200 mm Foundry-Kapazität für mehr als 30.000 Wafer pro Monat an zwei europäischen Produktionsstätten. Mit CMOS-Prozesstechnologien von 150 nm und darunter, innovativen Technologie-Optionen und einem umfangreichen IP-Portfolio bietet LFoundry als einzige dedizierte Foundry “Sicherheit…und damit Zuverlässigkeit, Integrität und Bestandsschutz für die Designs und das IP der Kunden“.
www.lfoundry.com … Mit „Sicherheit“ immer für Sie da, jederzeit

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Unternehmen miteinander zu vernetzen und mit anwendungsorientierten Forschungeinrichtungen ins Gespräch zu bringen, das ist die Aufgabe des Clusters Mikrosystemtechnik. Als fachlich kompetenter, neutraler und wirtschaftlich unabhängiger Partner unterstützen wir mittelständische Unternehmen darin, ihre Wettbewerbsfähigkeit und Innovationskraft nachhaltig zu stärken.

Derzeit hat der Cluster Mikrosystemtechnik rund 60 Mitglieder, vom Ein-Mann-Ingenieurbüro über Hochschulen und Forschungseinrichtungen bis zum weltweit agierenden Großunternehmen. Rund 2/3 unserer Mitglieder sind kleine und mittelgroße Unternehmen (KMU). Neben den Mitgliedern unterstützen über 150 weitere Unternehmen, Hochschulen und Forschungseinrichtungen unsere Arbeit als aktive Partner.

Der Cluster Mikrosystemtechnik wurde 2005 gegründet. Mit weit über 30 eigenen Veranstaltungen, Gemeinschaftsständen auf 9 Messen mit über 50 teilnehmen Unternehmen sowie über 15 Forschungsprojekten hat sich der Cluster mittlerweile eine starke Position im süddeutschen Raum und den angrenzenden Regionen erarbeitet.

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