PresseBox
Pressemitteilung BoxID: 336427 (Cluster Mikrosystemtechnik)
  • Cluster Mikrosystemtechnik
  • Am Lurzenhof 1
  • 84036 Landshut
  • http://www.cluster-mst.de
  • Ansprechpartner
  • Oliver Schillings
  • +49 (2202) 9590-02

Spezialist für minimale Höhenunterschiede

FRT präsentiert ein neues Weißlicht-Interferometer

(PresseBox) (Landshut, ) Für hochgenaue Topographie- und Ebenheitsmessungen stellt Fries Research & Technology (FRT) ein neues Weißlicht-Interferometer vor, dass in die bewährten Multisensor Oberflächenmessgeräte von FRT integriert werden kann.

Der Sensor WLI PL ist in der Lage, Höhenunterschiede von Oberflächenstrukturen mit einer Auflösung von 10 nm berührungslos und dreidimensional zu vermessen. Der besondere Clou: Der Sensor ist mit einer patentierten One-Shot-Technologie ausgestattet, welche die Oberflächen hochauflösend und großflächig binnen Sekunden erfasst. Speziell in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird der Sensor in der Forschung & Entwicklung und in der Produktionskontrolle eingesetzt. Er eignet sich aber auch für eine Vielzahl weiterer Anwendungen, etwa in den Bereichen Photovoltaik, Automotive, Medizintechnik und Optikindustrie.

Vielseitig und schnell

Ein wesentlicher Vorteil des optischen Sensors ist seine Vielseitigkeit. Durch die berührungslose und zerstörungsfreie Messung können die verschiedensten Materialien und Oberflächen analysiert werden. Silizium, Glas, Metalle, Kunststoffe oder Keramiken lassen sich mit dem WLI PL untersuchen, unabhängig davon, ob sie reflektierend, rau, strukturiert oder poliert sind. Der Sensor liefert großflächig und in einem Messdurchgang Daten über 3D-Topographie, Ebenheit, Profil, Rauheit und Kontur.

Typische Anwendungsbeispiele finden sich in der Halbleiterfertigung. So können Through Silicon Vias (TSV) für 3DIC Baugruppen sehr schnell und großflächig untersucht werden. Auch für die schnelle Analyse von großen Bump-Feldern und für Ebenheitsmessungen eignet sich der neue Sensor hervorragend. Das Messfeld mit einer Größe von bis zu 35 mm x 35 mm wird über ein auswechselbares Objektiv optimal an die Messaufgabe angepasst.

Einsatz im Multisensor-Gerät

Das neue Weißlicht-Interferometer kommt in den Multisensor-Messgeräten MicroProf und den vollautomatischen Messsystemen MicroProf MFE in Kombination mit weiteren optischen Sensoren, Rasterkraft- oder Konfokalmikroskopen zum Einsatz.

FRT auf der CONTROL 2010

Sie finden FRT auf der CONTROL in Stuttgart (4. bis 7. Mai) in Halle 7, Stand 7238.

Cluster Mikrosystemtechnik

Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet 3D-Oberflächenmesstechnik bis zur Mikro- und Nanometerauflösung für Forschung und Produktion. Die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme von FRT liefern berührungslos und zerstörungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch Informationen über die Topographie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Schichtdicke und viele andere Parameter. Mehr als 300 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen wie z.B. Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik, Solar/Photovoltaik im Einsatz.

Das Unternehmen hat seinen Sitz in Bergisch Gladbach bei Köln und unterhält Tochtergesellschaften in den USA, China und der Schweiz sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.

Die FRT, Fries Research & Technology GmbH ist Mitglied im Cluster Mikrosystemtechnik.

Unternehmen miteinander zu vernetzen und mit anwendungsorientierten Forschungeinrichtungen ins Gespräch zu bringen, das ist die Aufgabe des Clusters Mikrosystemtechnik. Als fachlich kompetenter, neutraler und wirtschaftlich unabhängiger Partner unterstützen wir mittelständische Unternehmen darin, ihre Wettbewerbsfähigkeit und Innovationskraft nachhaltig zu stärken.

Derzeit hat der Cluster Mikrosystemtechnik rund 60 Mitglieder, vom Ein-Mann-Ingenieurbüro über Hochschulen und Forschungseinrichtungen bis zum weltweit agierenden Großunternehmen. Rund 2/3 unserer Mitglieder sind kleine und mittelgroße Unternehmen (KMU). Neben den Mitgliedern unterstützen über 150 weitere Unternehmen, Hochschulen und Forschungseinrichtungen unsere Arbeit als aktive Partner.

Der Cluster Mikrosystemtechnik wurde 2005 gegründet. Mit weit über 30 eigenen Veranstaltungen, Gemeinschaftsständen auf 9 Messen mit über 50 teilnehmen Unternehmen sowie über 15 Forschungsprojekten hat sich der Cluster mittlerweile eine starke Position im süddeutschen Raum und den angrenzenden Regionen erarbeitet.