Für hochgenaue Topographie- und Ebenheitsmessungen stellt Fries Research & Technology (FRT) ein neues Weißlicht-Interferometer vor, dass in die bewährten Multisensor Oberflächenmessgeräte von FRT integriert werden kann.
Der Sensor WLI PL ist in der Lage, Höhenunterschiede von Oberflächenstrukturen mit einer Auflösung von 10 nm berührungslos und dreidimensional zu vermessen. Der besondere Clou: Der Sensor ist mit einer patentierten One-Shot-Technologie ausgestattet, welche die Oberflächen hochauflösend und großflächig binnen Sekunden erfasst. Speziell in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird der Sensor in der Forschung & Entwicklung und in der Produktionskontrolle eingesetzt. Er eignet sich aber auch für eine Vielzahl weiterer Anwendungen, etwa in den Bereichen Photovoltaik, Automotive, Medizintechnik und Optikindustrie.
Vielseitig und schnell
Ein wesentlicher Vorteil des optischen Sensors ist seine Vielseitigkeit. Durch die berührungslose und zerstörungsfreie Messung können die verschiedensten Materialien und Oberflächen analysiert werden. Silizium, Glas, Metalle, Kunststoffe oder Keramiken lassen sich mit dem WLI PL untersuchen, unabhängig davon, ob sie reflektierend, rau, strukturiert oder poliert sind. Der Sensor liefert großflächig und in einem Messdurchgang Daten über 3D-Topographie, Ebenheit, Profil, Rauheit und Kontur.
Typische Anwendungsbeispiele finden sich in der Halbleiterfertigung. So können Through Silicon Vias (TSV) für 3DIC Baugruppen sehr schnell und großflächig untersucht werden. Auch für die schnelle Analyse von großen Bump-Feldern und für Ebenheitsmessungen eignet sich der neue Sensor hervorragend. Das Messfeld mit einer Größe von bis zu 35 mm x 35 mm wird über ein auswechselbares Objektiv optimal an die Messaufgabe angepasst.
Einsatz im Multisensor-Gerät
Das neue Weißlicht-Interferometer kommt in den Multisensor-Messgeräten MicroProf und den vollautomatischen Messsystemen MicroProf MFE in Kombination mit weiteren optischen Sensoren, Rasterkraft- oder Konfokalmikroskopen zum Einsatz.
FRT auf der CONTROL 2010
Sie finden FRT auf der CONTROL in Stuttgart (4. bis 7. Mai) in Halle 7, Stand 7238.
Der Sensor WLI PL ist in der Lage, Höhenunterschiede von Oberflächenstrukturen mit einer Auflösung von 10 nm berührungslos und dreidimensional zu vermessen. Der besondere Clou: Der Sensor ist mit einer patentierten One-Shot-Technologie ausgestattet, welche die Oberflächen hochauflösend und großflächig binnen Sekunden erfasst. Speziell in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird der Sensor in der Forschung & Entwicklung und in der Produktionskontrolle eingesetzt. Er eignet sich aber auch für eine Vielzahl weiterer Anwendungen, etwa in den Bereichen Photovoltaik, Automotive, Medizintechnik und Optikindustrie.
Vielseitig und schnell
Ein wesentlicher Vorteil des optischen Sensors ist seine Vielseitigkeit. Durch die berührungslose und zerstörungsfreie Messung können die verschiedensten Materialien und Oberflächen analysiert werden. Silizium, Glas, Metalle, Kunststoffe oder Keramiken lassen sich mit dem WLI PL untersuchen, unabhängig davon, ob sie reflektierend, rau, strukturiert oder poliert sind. Der Sensor liefert großflächig und in einem Messdurchgang Daten über 3D-Topographie, Ebenheit, Profil, Rauheit und Kontur.
Typische Anwendungsbeispiele finden sich in der Halbleiterfertigung. So können Through Silicon Vias (TSV) für 3DIC Baugruppen sehr schnell und großflächig untersucht werden. Auch für die schnelle Analyse von großen Bump-Feldern und für Ebenheitsmessungen eignet sich der neue Sensor hervorragend. Das Messfeld mit einer Größe von bis zu 35 mm x 35 mm wird über ein auswechselbares Objektiv optimal an die Messaufgabe angepasst.
Einsatz im Multisensor-Gerät
Das neue Weißlicht-Interferometer kommt in den Multisensor-Messgeräten MicroProf und den vollautomatischen Messsystemen MicroProf MFE in Kombination mit weiteren optischen Sensoren, Rasterkraft- oder Konfokalmikroskopen zum Einsatz.
FRT auf der CONTROL 2010
Sie finden FRT auf der CONTROL in Stuttgart (4. bis 7. Mai) in Halle 7, Stand 7238.
