Thermische Mikroantriebe für Nanotechnologien - Thermografie im Bereich der Forschung an MEMS-Mikroantrieben
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bieten eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten auf dem Gebiet der Nanotechnologie. Wachsende Ansprüche an die Miniaturisierung betreffen gleichermaßen die dafür erforderlichen Systemlösungen als auch die zu entwickelnden Sensoren und Steuerelemente. *Bitte den Bericht nur in unveränderter Form für Veröffentlichungen nutzen. Für konkrete Absprachen wenden Sie sich bitte an presse@infratec.de.
