Die neueste Generation des vollautomatischen Maskenmetrologiesystems LMS IPRO4 der Vistec Semiconductor Systems GmbH hat jüngst den Factory Acceptance Test durch das führende Maskenhaus Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) in Dresden mit Bravour bestanden.
„Die Vistec LMS IPRO4 ist die mittlerweile sechste Generation unserer sehr erfolgreichen Geräteserie für Positionsmessungen auf Fotomasken für die Halbleiterindustrie. Die Messperformance im Test war zum Teil sogar noch deutlich besser als die vereinbarten Spezifikationen“, erklärte Vistec Senior Produktmanager Dr. Klaus-Dieter Röth.
„Insbesondere die ausgezeichnete Langzeitreproduzierbarkeit des Systems hat uns überzeugt. Dieser Parameter ist sehr wichtig für AMTC im Hinblick auf die Weiterentwicklung
„Die Vistec LMS IPRO4 ist die mittlerweile sechste Generation unserer sehr erfolgreichen Geräteserie für Positionsmessungen auf Fotomasken für die Halbleiterindustrie. Die Messperformance im Test war zum Teil sogar noch deutlich besser als die vereinbarten Spezifikationen“, erklärte Vistec Senior Produktmanager Dr. Klaus-Dieter Röth.
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