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Pressemitteilung BoxID: 120795 (Vistec Semiconductor Systems GmbH)
  • Vistec Semiconductor Systems GmbH
  • Kubacher Weg 4
  • 35781 Weilburg
  • http://www.vistec-semi.com
  • Ansprechpartner
  • Heike Engstler
  • +49 (7131) 20399-41

Sehr erfolgreiche Abnahme des beta site Systems der Vistec LMS IPRO4

(PresseBox) (Weilburg, ) Die neueste Generation des vollautomatischen Maskenmetrologiesystems LMS IPRO4 der Vistec Semiconductor Systems GmbH hat jüngst den Factory Acceptance Test durch das führende Maskenhaus Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) in Dresden mit Bravour bestanden.

„Die Vistec LMS IPRO4 ist die mittlerweile sechste Generation unserer sehr erfolgreichen Geräteserie für Positionsmessungen auf Fotomasken für die Halbleiterindustrie. Die Messperformance im Test war zum Teil sogar noch deutlich besser als die vereinbarten Spezifikationen“, erklärte Vistec Senior Produktmanager Dr. Klaus-Dieter Röth.

„Insbesondere die ausgezeichnete Langzeitreproduzierbarkeit des Systems hat uns überzeugt. Dieser Parameter ist sehr wichtig für AMTC im Hinblick auf die Weiterentwicklung der Maskentechnologie für die 32 nm Chip-Generation und den geplanten Einsatz der "Double Patterning" Methode“, sagte Dr. Gunter Antesberger, AMTC Senior Process Engineer, bei der Abnahme.

Das Mask Metrology Pattern Placement Tool Vistec LMS IPRO4 entstand ebenso wie das Vorgängermodell LMS IPRO3 im Rahmen des Förderprojektes ABBILD (Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente) des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF). Vistec konnte die neue IPRO-Gerätegeneration innerhalb von nur zwei Jahren entwickeln und marktreif machen.

„Das außerordentliche Know-how und die langjährige Erfahrung unserer Mitarbeiter haben diese technologische Spitzenleistung erst ermöglicht“, betonte Vistec-Geschäftsführer Gerhard Ruppik. „Damit ermöglichen wir Kunden wie AMTC bereits heute Entwicklungsarbeiten für das nächste Technologieniveau durchzuführen. Und dank der engen Kooperation mit unseren Kunden sowie Forschungseinrichtungen und Hochschulen entstehen immer wieder neue, intelligente Lösungen für signifikante Verbesserungen.“ Eine Zusammenarbeit, die von allen Seiten geschätzt wird – vor kurzem zeichnete AMTC Vistec als “Supplier of the Year“ für Maskenmetrologiesysteme aus.

Die Maschine wird ab August in Dresden installiert. Zwei weitere Auslieferungen des Systems sind noch in diesem Jahr an marktführende Kunden nach Japan und in die USA geplant. „Damit setzt die LMS IPRO4 die bisherige Erfolgsgeschichte der Geräteserie mit mehr als 90 Installationen fort“, erklärte Ruppik.

Vistec Semiconductor Systems GmbH

Vistec Semiconductor Systems GmbH is providing key technology used by all leading semiconductor manufacturers and many research institutes around the world. Their innovative product portfolio includes inspection systems, defect detection and classification systems and metrology systems for mask and wafer manufacturing. Their systems are used for microchip and photo mask production as well as for scientific and commercial research. In addition to the production facility in Germany, the company also maintains support centers in the USA, Japan, China, Singapore, Taiwan and Korea.

Vistec Semiconductor Systems GmbH, Weilburg is part of the Vistec Semiconductor Systems Group which consists of three business units:
- Vistec Semiconductor Systems GmbH located in Weilburg, Germany
- Vistec Electron Beam GmbH located in Jena, Germany
- Vistec Lithography Ltd. located in Watervliet, N.Y., USA