Wie SÜSS MicroTec, Hersteller innovativer Lösungen für die Märkte 3D, MEMS, Advanced Packaging und Nanotechnologie heute bekannt gab, sind die manuellen Mask Aligner ab sofort mit einem neuen Nanoimprinting-Toolset ausgerüstet, das die Erzeugung reproduzierbarer Strukturen im sub-50 nm-Bereich auch auf großen Flächen ermöglicht. Die von Philips Research im niederländischen Eindhoven entwickelte neue Technologie trägt den Namen SCIL (Substrate Conformal Imprint Lithography). Die Nutzungsrechte wurden über eine Technologie-Lizenzvereinbarung an SÜSS MicroTec übertragen.
SCIL schließt die technische Lücke zwischen der, unter Verwendung eines harten Stempels auf kleinen Flächen erreichten, sehr hohen Auflösung und großflächigen Anwendungen mit Einsatz weicher Stempel, bei denen bislang
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