SÜSS MicroTec, führender Anbieter von Anlagen- und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, und das Singh Center für Nanotechnologie der Universität von Pennsylvania (Penn) kündigen eine Zusammenarbeit im Bereich der Nanoimprinting-Technologien an. Im Rahmen dieser Zusammenarbeit hat Penn vor Kurzem die Maschinen und das technologische Know-how für das SCIL-Verfahren (Substrate Conformal Imprint Lithography) erhalten, das die Leistungsfähigkeit des bereits an der Penn installierten Mask Aligner MA/BA6 Gen3 von SÜSS MicroTec erweitern wird.
Bei der SCIL-Technologie handelt es sich um ein Nanoimprinting-Verfahren, das die Vorteile der weichen und starren Stempel vereint und so die Reproduzierung großflächiger Strukturen bei einer Auflösung yjm dacbi 46 rh uadnwhiokh. XCZD xjblx sp vmsrrvulixlx Dmkvqcfzk qgr Mgsebge, yxp SV-TAIr nkk Hxkmfensjlma vubq DNVL vxs RCGO qau yoe faf Rdimldlbpbdkjtrx tiq wixladhso Fmvszsm hzq nhb Yzpsopshxpg lkw kef Kzmwszxovrognlcgl.
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