Das neue analySIS Add-In WaferNavigator von Soft Imaging System ist eine elegante Lösung zur einfachen Navigation auf Wafern und Lithographiemasken. Die besonderen Merkmale der preisgünstigen und besonders für die Forschung und Entwicklung entwickelten Software-Erweiterung zur Bildanalyse-Software analySIS liegen in der einfachen Bedienung, der Flexibilität und der Einbindung komplexer Abläufe an jeder Die-Position, wie dies beispielsweise Linienbreitenmessungen sein können. Auf diese Weise kann ein vorhandenes SEM zu einem automatischen Messtool aufgerüstet werden.
Geometrie und Referenzpunkte Die Geometrie des Wafers lässt sich benutzerdefiniert über Angaben wie Größe, Anzahl, Position und Zustand der "Dies" bzw. Chips festlegen. Alternativ kann auch eine beschreibende
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