Mit dem analySIS® waferInspector und dem analySIS® filter- Inspector stellt Soft Imaging System zwei neue System- lösungen für die Anwendungsgebiete Inspektion von Wafer- rohlingen und Untersuchung von Rundfiltern vor. Beide Systeme ermöglichen vollautomatische Analyse, Klassifi- zierung und Dokumentation von Defekten auf Wafern bzw. Rückständen auf Filtern und anderen Substraten.
Optimale Hardware-Performance Im Rahmen einer Wafer- oder Filteranalyse sind große Flächen in möglichst kurzer Zeit zu analysieren. Der analySIS® waferInspector und analySIS® filterInspector wurden speziell konzipiert, um bei hoher Auflösung kurze Analysezeiten zu ermöglichen. So lassen sich zum Beispiel Rundfilter mit einem Durchmesser von 50 mm bei einer Auflösung von
Optimale Hardware-Performance Im Rahmen einer Wafer- oder Filteranalyse sind große Flächen in möglichst kurzer Zeit zu analysieren. Der analySIS® waferInspector und analySIS® filterInspector wurden speziell konzipiert, um bei hoher Auflösung kurze Analysezeiten zu ermöglichen. So lassen sich zum Beispiel Rundfilter mit einem Durchmesser von 50 mm bei einer Auflösung von
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