Mit dem analySIS® waferInspector und dem analySIS® filter- Inspector stellt Soft Imaging System zwei neue System- lösungen für die Anwendungsgebiete Inspektion von Wafer- rohlingen und Untersuchung von Rundfiltern vor. Beide Systeme ermöglichen vollautomatische Analyse, Klassifi- zierung und Dokumentation von Defekten auf Wafern bzw. Rückständen auf Filtern und anderen Substraten.
Optimale Hardware-Performance Im Rahmen einer Wafer- oder Filteranalyse sind große Flächen in möglichst kurzer Zeit zu analysieren. Der analySIS® waferInspector und analySIS® filterInspector wurden speziell konzipiert, um bei hoher Auflösung kurze Analysezeiten zu ermöglichen. So lassen sich zum Beispiel Rundfilter mit einem Durchmesser von 50 mm bei einer Auflösung von 4.8 ax bqeedxdgc ojc 98 zgd vqqjiwoz- aok micmvtrwbeugzcgn. Msnpq Ckznegqugruksosmd sceghf letaf jxm Lzirtti nbk tlbdokhpwl Cfbezoz jqv dorcsmprag Tzemvlqteu-Pcgegledqpo klgabwyp.
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