Die SINGULUS TECHNOLOGIES AG (SINGULUS TECHNOLOGIES) hat eine neue Version ihrer Vakuum-Beschichtungsanlage GENERIS für den Einsatz in der CIGS-Dünnschicht Solartechnik weiterentwickelt. Die Firma Manz AG, Reutlingen, hat wie am 13. Juli dieses Jahres bereits gemeldet, mehrere Anlagen dieses Typs bestellt. Gemeinsam mit Manz arbeitet SINGULUS hierbei auch an Beschichtungsprozessen zur Weiterentwicklung und Optimierung der Rückelektrode von CIGS-Dünnschichtmodulen.
Die Vakuum-Beschichtungsanlage GENERIS besitzt einen horizontalen Substrattransport und ist modular aufgebaut. Die Vakuum Prozesskammern sind mit leistungsfähigen drehbaren Rundkathoden ausgestattet. Die Anlagenplattform von SINGULUS TECHNOLOGIES wird vor allem den besonders hohen Anforderungen in der Solarindustrie nach höchster Produktivität bei gleichzeitig niedrigen Betriebskosten gerecht.
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