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SINGULUS TECHNOLOGIES AG

New GENERIS PVD Inline Sputter System for Processing of Heterojunction Solar Cells from SINGULUS TECHNOLOGIES

New Technology will be presented at SNEC 2017 in Shanghai / Cell Performance of 22.3 % achieved

(PresseBox) (Kahl am Main, )
SINGULUS TECHNOLOGIES is introducing a completely new designed inline sputtering system for ITO and Ag, type GENERIS PVD. The Heterojunction cell technology (HJT) achieves conversion efficiencies of more than 22 % as well as reduced manufacturing costs. The newly developed GENERIS PVD system is a horizontal inline sputter tool designed for special requirements in photovoltaic high efficiency cell production. A Heterojunction cell performance of 22.3% was achieved in cooperation with a research institute. The deposited ITO layers exhibit excellent optical transmittance. Charge carrier mobility and electron density are optimized to minimize free carrier absorption in the ITO film. Sputter damage
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