- Anlage wurde von europäischen Kunden geordert
- Applikation: Produktion der neuesten Generation von magnetischen (TMR) Sensoren
- Für Wachstumsmärkte wie Elektromobilität und Photovoltaik
SINGULUS TECHNOLOGIES AG SINGULUS TECHNOLOGIES erhält einen Auftrag für eine Vakuum-Beschichtungsanlage des Typs ROTARIS von einem europäischen Halbleiterproduzenten. Das Einsatzgebiet ist die Serienfertigung hochpräziser magnetischer TMR-Sensoren (Tunnel Magneto Resistance = magnetischer Tunnelwiderstand), die immer mehr Anwendungen wie z.B. im Bereich Automotive, Photovoltaikumrichter und Industrie erobern. Das Vertragsvolumen liegt im niedrigen einstelligen Mio. € Bereich.
Die Clustertools des Typs ROTARIS erlauben unter Produktionsbedingungen Schichten reproduzierbar mit Genauigkeiten von einem Zehntel Angström
(10-11 m) im Ultrahochvakuum aufzuwachsen. Dies entspricht weniger tok rqhts pfbectze Pyjalkcy wqedylw fbf eeqji Uuorj vil ncxxr Teaiujwefnp fip 801 tr.
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