Vom Silizium bis zum Chip - Halbleiterproduktion durchgängig automatisieren

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"FabFocus", seine Automatisierungslösung für die Halbleiterindustrie, präsentiert Siemens Automation and Drives (A&D) erstmals vom 1.- 3. April 2003 auf der Semicon Europa 2003, Neue Messe München. FabFocus richtet sich sowohl an Equipment-Lieferanten und Anlagenbauer wie auch an Halbleiterhersteller. Das Siemens-Angebot basiert auf durchgängiger Automatisierungstechnik - vom Wareneingang über den eigentlichen Produktionsprozess bis zum Warenausgang. Es trägt dazu bei, die "Total Cost of Ownership" einer Halbleiterfabrik zu reduzieren.

Mit nahtlos verzahnten Prozessen lassen sich zum Beispiel die Reaktionszeiten auf Marktveränderungen - das heißt die "Time to Market" - verkürzen, die Lagerlogistik optimierten oder auch die Betriebs- und Wartungskosten der Fabrik verringern.

Das neue Siemens-Angebot wird auf der Semicon anhand der drei Segmente einer Halbleiter-Fabrikation gezeigt - Equipment, Facility und IT. Führende Prozess-OEMs und Equipment-Hersteller zeigen ihre auf FabFocus basierenden Lösungen und demonstrieren gemeinsam den Ablauf einer "realen" Fabrik: So präsentiert SEZ an einem Demomodell eine Nasschemieanlage, Messer Nippon Sanso ein "Prozessgaskabinett mit automatischer Flaschenumschaltung", Kinetics eine Chemieversorgungsanlage, Centrotherm eine Abgasreinigungsanlage und Christ eine Reinstwasseranlage. Siemens Building Technologies stellt Sicherheits- und Zugangskontrollsysteme sowie Brandmeldeanlagen und Feldgeräte aus. Informationen über Fabriknetze und eine mit dem Prozessleitsystem Simatic PCS 7 ausgerüstete Leitwarte runden die Ausstellung ab.

Für die Automatisierung des Reinraums mit Nebengewerken - wie Reinstwasser, Abwasser, Chemikalienversorgung oder auch technische Gase - steht das Siemens-DCS-(Distributed Control System)-System Simatic PCS 7 als Facility-Monitoring-und-Control-System (FMCS) im Mittelpunkt der Präsentation. Mit PCS 7 erstellt der Anlagenbauer in kurzer Realisierungszeit eine für den Betreiber zugeschnittene Fabrik übergreifende Lösung. Innerhalb FabFocus ist PCS 7 das "Fenster zum Prozess", durch das der Produktionsprozess bedient und beobachtet wird. "Totally Integrated Power", die Siemens-Lösung für das Power Management und zur Überwachung der bereitgestellten Energiequalität, rundet das Angebot ab.

Im Equipment-Segment zeigt Siemens seine Automatisierungstechnik auf SPS-(Speicherprogrammierbare Steuerungen)-Basis - insbesondere das Produktspektrum der fehlersicheren Automatisierungskomponenten "Safety Integrated". Diese erfüllen die in der Halbleiter-Industrie besonders strengen Anforderungen an Sicherheit für Mensch und Umwelt und eignen sich besonders für Bereiche, in denen toxische Gase oder Chemikalien eingesetzt werden.

Aufgrund der bei FabFocus einheitlichen Automatisierungsplattform für Equipment und FMCS lassen sich heute Advanced-Process-Control-(APC)-Funktionen für Equipments im FMCS integrieren. Damit lässt sich vorausschauend auf zum Beispiel zu erwartende erhöhte Ablufttemperaturen oder Reinstwasserbedarf reagieren, ohne dass es zu Störungen im Betrieb des Reinraumes kommt.
Weitere Informationen im Internet unter: http://www.ad.siemens.com/semiconductor

Leseranfragen bitte unter Stichwort "AD 415" an:
Siemens Automation and Drives, Infoservice, Postfach 23 48, D-90713 Fürth.
Fax ++49 911 978-3321 oder E-Mail: infoserv@scn.de

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