Mit der ALD-Technologie können extrem dünne und garantiert dichte Hochleistungspassivierungsschichten aus Al2O3 unter Atmosphärendruck abgeschieden werden. Durch ihre physikalischen Eigenschaften sind Al2O3 Passivierungsschichten für viele Solarzellenkonzepte der Zukunft die Basis zur Steigerung der Solarzelleneffizienz. Das einzigartige SoLayTec Atmosphärendruck Verfahren ermöglicht die kosteneffiziente Abscheidung von Al2O3, die mit Vakuumbeschichtungsverfahren nicht erreicht werden kann.
Die ersten Pilotanlagen zur Erprobung werden bereits in 2011 ausgeliefert, Produktionstools mit einem Dlnzvoqmz fdc 1359 Mcwlo/l soxi qo 2622 cjhrcogklxrln.
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