PresseBox
Pressemitteilung BoxID: 238011 (Precitec GmbH & Co. KG)
  • Precitec GmbH & Co. KG
  • Draisstraße 1
  • 76571 Gaggenau-Bad Rotenfels
  • http://www.precitec.de
  • Ansprechpartner
  • Jochen Schulze
  • +49 (6106) 8290-14

Messsystem CHRocodile MI5 erfasst die Silizium-Dicke an 5 Messstellen gleichzeitig

Neue Potenziale bei der Wafer- und Solarzellen-Herstellung

(PresseBox) (Rodgau, ) Die berührungslose und gleichzeitig äußerst genaue Schichtdicken- und Abstandsmessung mit interferometrisch arbeitenden Messsystemen hat sich bei der Halbleiter-Herstellung mittlerweile bewährt. Zu dieser Familie gehört auch der neue CHRocodile MI5 Sensor von Precitec Optronik.

Technologischer Kern des neuen Geräts ist der bereits im Solar- und Halbleiterbereich etablierte CHRocodile IT Sensor. Dieser durchleuchtet das zu vermessende Material von nur einer Seite mit Infrarotlicht. Das von Ober- und Unterseite zurück reflektierte Licht wertet er anschließend mittels Fourieranalyse aus berechnet daraus die exakte Schichtdicke des Halbleitermaterials.

Mit dem neuen CHRocodile MI5, der konsequenten Weiterentwicklung des CHRocodile IT, bietet das Unternehmen jetzt eine flexible Alternative zur mehrkanaligen Vermessung von Wafern und Solarzellen. Besonderes Merkmal: Der Sensor hat einen modularen Aufbau und kann gleichzeitig an bis zu 5 Messstellen hochgenaue Schichtdicken- und Abstandsmessungen durchführen. Wofür früher fünf einzelne CHRocodile IT Sensoren benötigt wurden, genügt heute ein vollbestückter CHRocodile MI5. Für den Anwender bedeutet das eine erhebliche Kosten- und Platzeinsparung.

Durch das robuste und einfache Messverfahren kann die Dickenmessung z.B. direkt inline während der Produktion über einem laufenden Förderband erfolgen. Der Messabstand zum Objekt ist dabei variabel ( 23mm sind Standard ). 4000 Punktmessungen pro Sekunde liefern hierbei mit einer Genauigkeit von bis zu 70 nm die Grundlage für höchste Qualitätsstandards. Selbst glänzende und wellige EFG-Wafer bzw. String-Ribbon-Produkte werden einfach und schnell erfasst.

Der neue CHRocodile MI5 misst ebenso die Schichtdicke von Silizium und GaAs-Materialien bis zu 1mm als auch von transparenten Folien und Lacken bis zu einer Stärke von 2,5 mm. Für die exakte und zerstörungsfreie Dickenmessung von nichttransparenten Stoffen wie Metall oder Papier stehen im Rahmen der CHRocodile - Produktfamilie weitere Sensoren zur Verfügung. Des Weiteren eignen sich die Precitec Sensoren auch zur hochgenauen Vermessung von Fingern und Bus-Bars auf Solarzellen.

Alle erfassten Messwerte können natürlich direkt zur Inline- Prozesskontrolle und -Steuerung sowie Excel- Dokumentation eingesetzt werden. Via USB oder RS232/RS422 sind die Daten gleichermaßen auslesbar.

Der CHRocodile MI5 bietet damit erhebliche Vorteile für die Wafer- und Solarzellenherstellung:

- Hochgenaue Dicken- und Abstandmessung von nur einer Seite aus
- Gleichzeitige Messung an bis zu 5 Messstellen
- Berührungsloses und zerstörungsfreies Messverfahren
- Auch hochglänzende und wellige Oberflächen erfassbar
- Variabler Messabstand (23mm sind Standard)
- Bis zu 4000 Messungen/Sekunde
- Problemlos im Fertigungsprozess zu integrieren
- Klein, robust und preiswert - kompaktes 19'' Gehäuse
- Keine nachträgliche Kalibrierung des Sensors notwendig
- Daten liegen in Echtzeit zum Auslesen vor

Das bedeutet für den Anwender:

- Einhalten hoher Qualitätsstandards bei der Wafer- und Solarzellenfertigung
- Vermeiden von Ausschussproduktion
- Schnelle Amortisation der Ausrüstungsinvestition