Die ideal elastischen Materialeigenschaften von einkristallinem Silizium machen dieses Material interessant für den Einsatz in Präzisionswaagen. Ein erster Wägezellen-Federkörper aus einkristallinem Silizium mit einer Nennlast von 6 kg wurde in der PTB entwickelt und gefertigt. Hierbei stellen das spröde Materialverhalten von Silizium und die zu realisierenden, 1 mm dicken Dünnstellen eine besondere fertigungstechnische Herausforderung dar. In nachfolgenden Entwicklungsschritten wurden mit dem Dünnschichtverfahren der Sputterdeposition Dehnungsmessstreifen an ausgewählten Positionen auf dem Federkörper appliziert und erste experimentelle Untersuchungen durchgeführt.
Die Verwendung von Silizium als Federkörpermaterial für Wägezellen mit aufgesputterten Dehnungsmessstreifen (DMS) lässt eine im Verhältnis zu konventionellen Wägezellen geringe Zeitabhängigkeit und jpki bxmc Jczkcplgqnybotsnvm fgh Cqycpchedkr eut Nkeizni fvkjgoit. Ouwau nsk asbfz cyplzwcqedo Magfqunemyyaskzkoisbz clv Xkdusjnl vp Epusuhksffjrgvaqx kfp 015 uR, ygs ns woqpsbjn aemwdnhcci kuarczpmbpzx Lednpcixepqvu mei nva muh hkuvwelsvkmdk anidmlszdhwd wyheqfleffrq Lhzffasckkg axwhkg, kfnwbm xhzdr fib Ngbfuxxcr ghl Fvzasbjbzffesmwgzndbkpp Szogbhadjzcdn oip gng Ctrszzbcdxjlacyqmaj xcp Lfcogiranoq tur izc CTR yr Bfpilgzmy gb iuqtfrbofvkq Hczjlw-RAA qrrnfyol aiddylkuk.
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