Der Profilscanner der PTB ermöglicht präzise und rückführbare Messungen an Mikrobauteilen mit steilen und tiefen Strukturen. Mikrokomponenten enthalten oft steile und gleichzeitig tiefe Strukturen, die für konventionelle Tastschnittgeräte, optische Mikroskope und Rasterkraftmikroskope nicht oder nur schwer zugänglich sind. Neben geometrischen Abmessungen ist auch die Rauheit derartiger Oberflächen von großem Interesse. Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) hat nun einen taktilen Oberflächenscanner entwickelt, der rückführbare dimensionelle Messungen an und in Strukturen mit hohem Aspektverhältnis wie z.B. in Düsen ermöglicht. Zu sehen gibt es die Neuheit vom 8. bis 11. Mai auf der CONTROL 2012 in Stuttgart, Halle 1, Stand 1313.
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