In der Präzisionsfertigung werden immer höhere Anforderungen an die Genauigkeit der verwendeten Längenmesssysteme gestellt. Der Nanometerkomparator, die Normal-Messeinrichtung der PTB für Längenteilungen sowie für hierauf basierende inkrementale Längenmesssysteme, hat jüngst maßgeblich zu einem wesentlichen Fortschritt in der Präzisions-Längenmesstechnik beigetragen.
In verschiedenen Bereichen industrieller Produktion müssen die eingesetzten Bearbeitungsmaschinen außerordentlich exakt positionieren – bis hin zu Genauigkeiten von wenigen Nanometern. Beispiele hierfür sind die zur lithographischen Herstellung integrierter Schaltkreise eingesetzten Belichtungsmaschinen (Wafer-Stepper) oder die zur ultrapräzisen Oberflächenbearbeitung verwendeten Diamant-Drehmaschinen.
Um die geforderten Positioniergenauigkeiten und -linearitäten erfüllen zu können, müssen die Messabweichungen der im Fertigungsprozess eingesetzten Längenmesssysteme mit sehr geringer Unsicherheit
In verschiedenen Bereichen industrieller Produktion müssen die eingesetzten Bearbeitungsmaschinen außerordentlich exakt positionieren – bis hin zu Genauigkeiten von wenigen Nanometern. Beispiele hierfür sind die zur lithographischen Herstellung integrierter Schaltkreise eingesetzten Belichtungsmaschinen (Wafer-Stepper) oder die zur ultrapräzisen Oberflächenbearbeitung verwendeten Diamant-Drehmaschinen.
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