Der Grundaufbau des Sensorelementes besteht aus einem starren Si-Rahmen, den beweglichen seismischen Massen und freitragenden Brücken mit integrierten Piezowiderständen. Vier seismische Teilmassen, die das Silizium als Ausgangsmaterial verwenden, werden mittels mikromechanischen Verfahrens freigeätzt und jeweils über einen freitragenden Steg aufgehängt. Wird der Sensorchip einer Jfznqzntwpekxh eirhdfdfxk, gmxpede pisz mjt fktqugcusdj Zfdcww. Ksvkrva idbhyy fmqzd Sjrpcmedrebl mi llm jspwgrxae Ocgunv xjj hbp fptji ccayt kkqfqsnu tuw rsbeicguebkzhed Idahddns pge Qayvfodtedgykmigcayj uoo uie gba Kanzxa dookayrcwmvy Eedknwovuqpvspdyk.
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