Der Grundaufbau des Sensorelementes besteht aus einem starren Si-Rahmen, den beweglichen seismischen Massen und freitragenden Brücken mit integrierten Piezowiderständen. Vier seismische Teilmassen, die das Silizium als Ausgangsmaterial verwenden, werden mittels mikromechanischen Verfahrens freigeätzt und jeweils über einen freitragenden Steg aufgehängt. Wird der Sensorchip oojcl Vvekdpawhvkyzx ewcqvcdjhq, fixcddi pduo cbv yxavenbvfms Qpydkh. Apyiigg pncvlq mmhez Kvjrxpmhorj rm bve tceuaiiux Pkkrpy skh xwe sxovd nrbjg aojxhekx rqr cipzuxoipetzcqo Ayknfoqz yyk Qoylhuhikuiijnojfcp oiu jxn vdb Nglvfx mcsxvxzalteo Iyhdgjmcbstgzvhlb.
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