Die neuen Weißlicht-Interferometer der Serie interferoMETER IMS5200-TH werden für nanometergenaue Schichtdickenmessungen von 1 bis 100 Mikrometern eingesetzt. Mit einer Messrate von bis zu 24 kHz sind die neuen Weißlicht-Interferometer für dynamische Messaufgaben in der Halbleiterfertigung – auch im Vakuum – sowie in Beschichtungsprozessen prädestiniert.
Das neue Weißlicht-Interferometer interferoMETER IMS5200-TH ist für schnelle, hochpräzise Inline-Messungen konzipiert. Es misst nanometergenau Schichtdicken von 1 bis 100 µm mit einer hervorragenden Linearität von <± 100 nm. Darüber hinaus ist die Multi-Peak-Messung von bis zu fünf dünnen Schichten möglich. Die Messrate lässt sich stufenlos einstellen im Bereich von 100 Hz bis 24 kHz. Dabei ist
Das neue Weißlicht-Interferometer interferoMETER IMS5200-TH ist für schnelle, hochpräzise Inline-Messungen konzipiert. Es misst nanometergenau Schichtdicken von 1 bis 100 µm mit einer hervorragenden Linearität von <± 100 nm. Darüber hinaus ist die Multi-Peak-Messung von bis zu fünf dünnen Schichten möglich. Die Messrate lässt sich stufenlos einstellen im Bereich von 100 Hz bis 24 kHz. Dabei ist
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