Eingesetzt werden konfokale Sensoren der Reihe confocalDT IFS 2405 mit einem Messbereich von 1 mm. Diese zeichnen sich durch einen äußerst kleinen Messfleck von nur 8 µm sowie eine hervorragende Präzision zur Messung dünner Schichten aus. Die Messung erfolgt unmittelbar und schnell mit einer Messrate von 1
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