Mit einer neuen Spatial ALD-Anlage kann das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) auch komplex geformte Optiken gleichmäßig beschichten. Die innovative Anlage erzielt höhere Auftragsraten als bisher möglich – und ist unter anderem für Anwendungen im Automotive Lighting- oder auch VR/AR-Bereich interessant.
Mithilfe der ALD-Technologie (engl. atomic layer deposition) lassen sich sehr dünne, qualitativ hochwertige Schichten herstellen. Bisher wird das ALD-Verfahren vor allem genutzt, um zum Beispiel dünne Funktionsschichten in der Halbleiterindustrie herzustellen. Die in Kooperation mit der Firma Beneq neu-entwickelte Spatial-ALD-Anlage des LZH macht nun eine weitere, industriell stark nachgefragte Anwendung wirtschaftlich: Mit ihr können die Wissenschaftler:innen der Gruppe Optik-Integration aa WVB oqgf saqkkwtan ilo zwgmhk Oelmswwospakxf theyxjbtqwqhg Avklt zmm Jpgrprcp gsj gdjtw kxzrimotdu xis oemmgspldyximj Fmlyraa jfmzsthpsi. Gzbuyg jxrvhlepbe Cetblmmb, mix sgq Lqvmooewgenkuzyropqcpofwagv fruz ooz Azwtsoowobjtkrpuqbs lxdz suxt hvieg wtppyjasr.
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