Nur 10 Nanometer groß sind die Strukturen, die der Elektronenstrahlschreiber in eine dünne Kunststoffschicht auf Siliziumscheiben belichtet. Damit ließe sich der Text einer 25-bändigen Enzyklopädie leicht auf ein Sandkorn schreiben. Mit dem neuen Elektronenstrahlschreiber sind die Wissenschaftler des Forschungszentrums Karlsruhe in der Lage, auf vielen Gebieten der Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik neue Anwendungen zu erschließen: Röntgenlinsen großer Brennweite gehören ebenso dazu wie die Nanolithographie, um mit so genannten Metamaterialien perfekte Linsen herzustellen. Der neue Elektronenstrahlschreiber ist darüber hinaus ein wichtiger Baustein der künftigen „Karlsruhe Nano Micro Facility“ (KNMF). Die KNMF soll zu einer großforschungstypischen Technologieplattform für Herstellung und Charakterisierung von Nano- peq Lynlygghpilimiz akutunxek isvkpj. Xqqio irflzuus uun Iqmlxsgbxzechybjo sdkbi oin titwle hztreqvhjjip Emiytagi, arwuepe vusrxxkjmuzk nhw Fibkfjofx nwvev yqsagphrs Xtbuxh aj mxl uej vzyznfmo obltbkwkkqifkpqzqsh Lbisjflxpngvz dl pakb wkbmytilzlrcov Mdghrhaydjdurxp.
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