PresseBox
Pressemitteilung BoxID: 371170 (FRT GmbH)
  • FRT GmbH
  • Friedrich-Ebert-Straße 75, Haus 33
  • 51429 Bergisch Gladbach
  • https://www.frtmetrology.com
  • Ansprechpartner
  • Oliver Schillings
  • +49 (2202) 959002

FRT bietet Metrologie-Lösung für 3DIC Fertigungstechnik

Spezielle Wafer-Messtechnik für die Entwicklung und Produktionskontrolle / Präsentation auf der SEMICON Europa

(PresseBox) (Bergisch Gladbach, ) Für die zunehmend populäre 3DIC Fertigungstechnik hat Fries Research & Technology (FRT) eine universelle Messlösung entwickelt, welche die typischen Messaufgaben während des 3DIC Produktionsprozesses mit einem Gerät erfüllt. Das MicroProf TTV Multisensor-Messgerät eignet sich für Entwickler und Produzenten von Elektronik- und MEMS-Chips, die bereits auf die innovative 3DIC Fertigungstechnik in ihrem Produktionsprozess setzen oder diesen in Zukunft einführen möchten.

Mit dem MicroProf können sowohl Rohwafer als auch strukturierte oder mehrschichtige Wafer hinsichtlich der Dickenvariation (TTV), Ebenheit, Bump-Koplanarität und Oberflächentopographie hochauflösend und nach SEMI-Standards charakterisiert werden. Für TSV-Messungen (Through Silicon Vias) kommt eine neue Technologie zum Einsatz, mit der besonders kleine TSV bei sehr hohem Aspektverhältnis (< 5 µm Durchmesser, bis zu 180 µm Tiefe) quantitativ evaluiert werden können.

Universelle Metrologie-Lösung für 3DIC Fertigungstechnik

Während der verschiedenen Herstellungsschritte eines 3DIC ist normalerweise diverse Messtechnik erforderlich. Mit der universellen Lösung von FRT können Messaufgaben in einem Gerät zusammengefasst werden. Schon beim Ausgangssubstrat, dem Rohwafer müssen Qualitätsparameter überwacht werden. Dazu zählt z.B. der sogenannte TTV Wert (Total Thickness Variation). Er beschreibt die Dickenvariation der Wafer, die auf wenige Mikrometer geschliffenen werden. Auch die Wafer-Ebenheit sowie die Durchbiegung (Bow) und der Warp Parameter sind entscheidend für die Prozessqualität und müssen charakterisiert werden.

Weitere Messaufgaben liegen in der Dickenbestimmung transparenter Schichten, sowie der Messung von Through Silicon Vias (TSV) und Trenches. Alle Messungen werden mit dem FRT System wahlweise manuell oder vollautomatisch durchgeführt. Zudem steht eine vollintegrierte Lösung mit robotergestütztem Waferhandling, Rezepterstellung, automatischer Auswertung, Mini-Environment samt EFEM und einer SEMIkonformen SECS/GEM Schnittstelle für die Anbindung an den Fab Host bereit.

FRT MicroProf: Modulare und zukunftssichere Multisensor-Messtechnik

Die FRT Multisensor Messtechnik, die auch auf der SEMICON Europa präsentiert wird (FRT Stand: 1.649) ist optimal auf die typischen Messaufgaben in der 3DIC Fertigung vorbereitet und dank ihrer Modularität bestens für zukünftige Erweiterungen gerüstet. Eingesetzt werden MicroProf Messgeräte bei führenden Mikroelektronik- und MEMS-Herstellern sowie nationalen und internationalen Forschungsinstituten.

More Moore dank 3D-IC

Zur Erreichung weiterer Effizienzsteigerungen wird immer häufiger auf die neue 3DIC Fertigungstechnik zurückgegriffen, bei der mehrere Chips gestapelt und vertikal verschaltet werden. Getreu nach dem Motto "More Moore" können so z.B. größere Solid State Disks, kompaktere CMOS Bildsensoren sowie leistungsfähigere und energieeffizientere Logikbausteine hergestellt werden.

FRT live

Sie finden FRT auf folgenden Messen:

- 3. NRW Nanokonferenz, Dortmunder Westfalenhallen (9. bis 10. September 2010)
- testXpo, Fachmesse für Prüftechnik, Ulm (11. - 14. Oktober 2010)
- SEMICON Europa 2010, Dresden (19.-21. Oktober 2010), Stand 1.649

FRT GmbH

Die Fries Research & Technology GmbH (FRT) bietet 3D-Oberflächenmesstechnik für die Forschung und Produktion. Mit Mikro- und Nanometerauflösung liefern die mehrfach ausgezeichneten Messsysteme berührungslos und zerstörungsfrei sowie wahlweise vollautomatisch, Informationen über die Topographie, Struktur, Stufenhöhe, Rauheit, Verschleiß, Dickenvariation, Schichtdicke und viele andere Parameter. Mehr als 300 Anlagen sind weltweit bei Unternehmen aus den Branchen Automotive, Halbleiter, Mikrosystemtechnik, Optik, Solar/Photovoltaik und weiteren im Einsatz. Das Unternehmen unterhält Tochtergesellschaften in den USA, China und der Schweiz sowie ein Vertriebs- und Servicenetz in den USA, Asien und Europa.