Die 3D Systemintegration gehört zu den Schlüsseltechnologien in der Mikroelektronik für die Herstellung hochfunktionaler Mikrosysteme. Das Center "All Silicon System Integration Dresden" kurz ASSID des Fraunhofer IZM hat seit seinem Start im März 2010 den Aufbau einer 300mm-Technologielinie für die 3D Wafer Level System-Integration nahezu abgeschlossen, und die Einzelprozessentwicklungen wurden bereits begonnen. Am Standort Dresden-Moritzburg besteht damit eine der weltweit modernsten Technologielinien für die Realisierung von dreidimensionalen Siliziumsystemen auf der Basis von "Through Silicon Vias - TSV", die mit Mitteln der Europäischen Union, dem Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) und dem Freistaat Sachsen realisiert wurde.
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