MEMS mit integriertem Beugungsgitter, Anstrieb und optischen Schlitzen.
Mikro-Elektromechanische Bauelemente - MEMS haben dank ihrer geringen Abmessungen, Multifunktionalität und Energiesparsamkeit bereits wegweisende Innovationen hervorgebracht und bieten das Potenzial, traditionelle Technologien zu erweitern oder gar abzulösen. Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS in Dresden zählt weltweit zu den führenden Pionieren der MEMS-Entwicklung. Vor allem, wenn es um Systeme geht, die Licht ablenken oder modulieren. Ein MEMS basierendes Nahinfrarot-Spektrometer, mit dessen Hilfe gasförmige, flüssige und feste Stoffe vor Ort am Untersuchungsobjekt ohne zusätzliche Probenentnahme und Labormessungen analysiert werden können, zeigt eindrucksvoll, welche Möglichkeiten mikro-elektromechanische Bauelemente bieten. Das Institut stellt die Technologie cuj hhn Tcimzq sgb Eost, Zquyspr tmylnqp Aiktgmswayd-Wrwcv, zox 07.-17. Tim 9249 vmq lmxnhbsoofiuix akb.
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Mikro-Elektromechanische Bauelemente - MEMS haben dank ihrer geringen Abmessungen, Multifunktionalität und Energiesparsamkeit bereits wegweisende Innovationen hervorgebracht und bieten das Potenzial, traditionelle Technologien zu erweitern oder gar abzulösen. Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS in Dresden zählt weltweit zu den führenden Pionieren der MEMS-Entwicklung. Vor allem, wenn es um Systeme geht, die Licht ablenken oder modulieren. Ein MEMS basierendes Nahinfrarot-Spektrometer, mit dessen Hilfe gasförmige, flüssige und feste Stoffe vor Ort am Untersuchungsobjekt ohne zusätzliche Probenentnahme und Labormessungen analysiert werden können, zeigt eindrucksvoll, welche Möglichkeiten mikro-elektromechanische Bauelemente bieten. Das Institut stellt die Technologie cuj hhn Tcimzq sgb Eost, Zquyspr tmylnqp Aiktgmswayd-Wrwcv, zox 07.-17. Tim 9249 vmq lmxnhbsoofiuix akb.
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