Fraunhofer IPMS-CNT bereitet Marktreife für neues Wafer Inspection System vor

(PresseBox) ( Dresden, )
Das Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (Fraunhofer IPMS) arbeitet ab sofort mit dem südkoreanischen Gerätehersteller NextIn zusammen. In einer einjährigen Kooperation wird im Reinraum des Center Nanoelectronic Technologies (CNT) ein neues Defekt-Inspektions-Gerät evaluiert, das die optische Detektion, die automatische Klassifizierung und die Charakterisierung von verschiedenen Defekttypen auf strukturierten Wafern (200 mm und 300 mm Größe) erlaubt.

Das Aegis I Wafer Inspection System von NextIn erlaubt die kombinierte Anwendung von Hellfeld- und Dunkelfeld-Bildgebung in einem Tool, was eine erhebliche Reduzierung von Investitionen in das Analytik-Equipment für Halbleiterproduzenten ermöglicht. Nach Abschluss der Evaluation bietet die Firma NextIn damit eine konkurrenzfähige Alternative für die Metrologie in 2x nm Technologieknoten für den europäischen Markt.

"Für uns als Forschungseinrichtung ergeben sich neben der Ausweitung unserer Geschäftsbeziehungen nach Asien auch Synergieeffekte, da solch ein Gerät für die Erforschung und Entwicklung von nanoelektronischen Prozessen von entscheidender Bedeutung ist " so Geschäftsfeldleiterin Dr. Romy Liske.

Das Center Nanoelectronic Technologies führt damit die erfolgreiche Zusammenarbeit zwischen Halbleiterindustrie und angewandter Forschung im Bereich der 300 mm Wafer-Technologie fort, die Herstellern die industrielle Umsetzung von neuen Entwicklungen ermöglicht.

Über NexIn

NEXTIN Inc. ist ein südkoreanischer Hersteller von Defektinspektionsanlagen für die Halbleiter- und FPD-Industrie. Seine hochpräzisen Anlagen helfen Kunden die Ergebnisse in allen Prozessschritten an den modernsten Designknoten zu optimieren. www.nextinsol.com
Für die oben stehenden Pressemitteilungen, das angezeigte Event bzw. das Stellenangebot sowie für das angezeigte Bild- und Tonmaterial ist allein der jeweils angegebene Herausgeber (siehe Firmeninfo bei Klick auf Bild/Meldungstitel oder Firmeninfo rechte Spalte) verantwortlich. Dieser ist in der Regel auch Urheber der Pressetexte sowie der angehängten Bild-, Ton- und Informationsmaterialien.
Die Nutzung von hier veröffentlichten Informationen zur Eigeninformation und redaktionellen Weiterverarbeitung ist in der Regel kostenfrei. Bitte klären Sie vor einer Weiterverwendung urheberrechtliche Fragen mit dem angegebenen Herausgeber. Bei Veröffentlichung senden Sie bitte ein Belegexemplar an service@pressebox.de.